[發(fā)明專利]LIDAR輸出信號(hào)的導(dǎo)引中的相位控制

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980052183.2
• 申請(qǐng)日: 2019-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112673274A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮大增;B·J·拉夫;M·阿斯加里
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 硅光芯片技術(shù)公司
• 主分類號(hào): G01S7/481
• 分類號(hào): G01S7/481;G02B26/08
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉茜璐;呂傳奇

1.一種LIDAR芯片，包括：

多個(gè)導(dǎo)引波導(dǎo)，其定位在基底上并且每個(gè)導(dǎo)引波導(dǎo)被配置成載送輸出信號(hào)，所述導(dǎo)引波導(dǎo)各自終止在刻面處，所述刻面被布置為使得輸出信號(hào)通過(guò)所述刻面離開(kāi)所述芯片并且組合以形成LIDAR輸出信號(hào)；

相位調(diào)諧器，其定位在所述導(dǎo)引波導(dǎo)的至少部分上，并且被配置成調(diào)諧彼此相鄰的導(dǎo)引波導(dǎo)上的輸出信號(hào)之間的相位差；以及

所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有大于或等于1μm且小于或等于4μm的直徑或高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述刻面的至少部分被構(gòu)造成使得所述刻面和在所述刻面處的所述輸出信號(hào)的傳播方向之間的最小角度大于80°且小于90°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，在所述刻面處的所述導(dǎo)引波導(dǎo)的至少部分中的所述輸出信號(hào)的傳播方向平行于所述基底。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有相同的長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)的長(zhǎng)度線性地改變。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，包括在系統(tǒng)中，所述系統(tǒng)還包括：電子裝置，所述電子裝置操作所述相位調(diào)諧器以便改變所述LIDAR輸出信號(hào)遠(yuǎn)離所述芯片行進(jìn)的方向。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)的至少部分的寬度在所述相位調(diào)諧器與所述刻面之間變窄。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)各自包括光傳輸介質(zhì)的脊，所述脊遠(yuǎn)離所述光傳輸介質(zhì)的位于所述脊之間的板狀區(qū)延伸，所述板狀區(qū)的厚度隨著所述板狀區(qū)接近所述刻面而減小。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有大于或等于1μm且小于或等于4μm的寬度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有遠(yuǎn)離板狀區(qū)延伸的光傳輸介質(zhì)的脊，所述板狀區(qū)具有大于0.0μm且小于或等于3μm的厚度。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有遠(yuǎn)離光傳輸介質(zhì)的板狀區(qū)延伸的光傳輸介質(zhì)的脊，所述脊具有大于或等于1μm且小于或等于4μm的寬度、大于或等于1μm且小于或等于4μm的高度；并且所述板狀區(qū)具有大于0.0μm且小于或等于3μm的厚度。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)的至少部分各自排除所述相位調(diào)諧器。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述刻面被布置成使得相鄰刻面之間的分離小于1μm。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的芯片，其中，所述刻面以小于30μm的間距布置。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述刻面以大于1.5μm和/或小于30μm的間距布置。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)的至少部分各自包括錐形。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的芯片，其中，所述錐形被構(gòu)造成使得所述導(dǎo)引波導(dǎo)的寬度隨著所述導(dǎo)引波導(dǎo)接近所述刻面而減小。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片，其中，所述導(dǎo)引波導(dǎo)具有遠(yuǎn)離光傳輸介質(zhì)的板狀區(qū)延伸的所述光傳輸介質(zhì)的脊，并且所述板狀區(qū)的鄰近于所述刻面的部分豎直地成錐形，使得所述板狀區(qū)的厚度隨著所述板狀區(qū)接近所述刻面而增大。