[發(fā)明專利]通過化學(xué)氣相滲透使多孔環(huán)形襯底致密化的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980051768.2
• 申請(qǐng)日: 2019-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN112567067B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 弗蘭克·拉莫魯;雷米·杜邦;威廉·羅斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 賽峰集團(tuán)陶瓷
• 主分類號(hào): C23C16/04
• 分類號(hào): C23C16/04;C23C16/458;C23C16/46;C04B35/83;C23C16/455;C04B41/45
• 代理公司: 中國(guó)商標(biāo)專利事務(wù)所有限公司 11234
• 代理人: 桑麗茹

1.一種通過化學(xué)氣相滲透使環(huán)形多孔襯底致密化的方法，所述方法至少包括以下步驟：

-提供多個(gè)單元模塊，每個(gè)單元模塊包括支撐板，所述支撐板上形成有環(huán)形多孔襯底的疊堆，所述支撐板包括與由堆疊的襯底的中心通道形成的內(nèi)部體積連通的中心進(jìn)氣開口和環(huán)繞該中心進(jìn)氣開口成角度地分布的排氣開口，以及環(huán)繞襯底的疊堆設(shè)置的熱質(zhì)量圓筒，所述熱質(zhì)量圓筒具有與所述支撐板一體的第一端部，以及第二自由端，

-在致密化爐的腔室中形成單元模塊的疊堆，每個(gè)疊堆包括堆疊在第一單元模塊上的至少一個(gè)第二單元模塊，所述第二單元模塊的支撐板停靠在第一單元模塊的熱質(zhì)量圓筒的第二自由端上，所述第二單元模塊的中心進(jìn)氣開口連通所述第一單元模塊的襯底的疊堆的內(nèi)部體積，并且所述第二單元模塊的排氣開口連通所述第一單元模塊的襯底的疊堆的外部體積，以及

-將氣相噴射到單元模塊的疊堆內(nèi)，所述氣相包括將被沉積在襯底的孔隙內(nèi)的基體材料的氣體前體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個(gè)熱質(zhì)量圓筒由石墨制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個(gè)單元模塊包括在所述多孔襯底之間的墊片，每個(gè)墊片都在襯底的疊堆的內(nèi)部體積和襯底的疊堆的外部體積之間提供泄漏通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個(gè)支撐板呈圓形，并且其直徑為所述環(huán)形多孔襯底的外徑的110％到120％之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，為了在單元模塊的支撐板上形成環(huán)形多孔襯底的疊堆，將裝填裝置的臂通過支撐板的排氣開口插入到單元模塊內(nèi)，襯底的疊堆形成在插入到單元模塊內(nèi)的臂的端部上，并且從單元模塊移除該臂，從而使因此形成的疊堆沉積在支撐板上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，由耦合到感應(yīng)器的感受器界定所述致密化爐的腔室。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個(gè)環(huán)形多孔襯底包含碳。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個(gè)環(huán)形多孔襯底構(gòu)成用于制動(dòng)盤的纖維預(yù)制件。