[發明專利]諧振裝置

在審

• 申請號: 201980051515.5
• 申請日: 2019-03-12
• 公開（公告）號: CN112534719A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 后藤雄一;竹山佳介
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/24
• 分類號: H03H9/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

本發明涉及諧振裝置。諧振裝置(1)具備：下蓋(20)；上蓋(30)，與下蓋(20)接合；以及諧振子(10)，具有在形成于下蓋(20)與上蓋(30)之間的振動空間彎曲振動的振動臂(121A～D)，在振動臂(121A～D)的前端部(122A～D)附著粒子(9)。在將粒子(9)的中位徑設為D50，將粒子(9)的比重設為A，將諧振子(10)的諧振頻率設為X時，滿足

技術領域

本發明涉及諧振裝置。

背景技術

在智能手機等電子設備中，例如組裝有諧振裝置作為定時設備，該諧振裝置是一種MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微電子機械系統)。這樣的諧振裝置例如具備：下側基板、在與下側基板之間形成空腔的上側基板、在下側基板與上側基板之間配置于空腔內的諧振子。

以往，諧振裝置的制造方法包含調整諧振子的諧振頻率的工序。例如在專利文獻1中公開了一種諧振裝置的制造方法，包含通過使彎曲振動的振動臂激勵，使該振動臂的一部分與下蓋以及上蓋的至少一方碰撞，從而調整諧振子的頻率的工序，能夠不損害諧振子的壓電性而進行諧振頻率的調整。

專利文獻1：國際公開第2017/212677號

然而，在專利文獻1所記載的制造方法中，在頻率調整工序中由于振動臂與上蓋或下蓋的碰撞，從振動臂刮掉的粒子附著于振動臂。若在諧振子的振動中附著的粒子從振動臂脫落，則諧振子的諧振頻率變動。

發明內容

本發明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制諧振頻率的變動的諧振裝置。

本發明的一個方式所涉及的諧振裝置具備：下蓋；上蓋，與下蓋接合；以及諧振子，具有振動臂，該振動臂在形成于下蓋與上蓋之間的振動空間彎曲振動，在振動臂的前端部附著粒子，在將粒子的中位徑設為D50、將粒子的比重設為A、將諧振子的諧振頻率設為X時，滿足D50≤189/

根據本發明，能夠提供可抑制諧振頻率的變動的諧振裝置。

附圖說明

圖1是簡要表示本發明的實施方式所涉及的諧振裝置的外觀的立體圖。

圖2是簡要表示本發明的實施方式所涉及的諧振裝置的構造的分解立體圖。

圖3是簡要表示本發明的實施方式所涉及的諧振子的構造的俯視圖。

圖4是表示本發明的實施方式所涉及的振動臂的前端的樣子的照片。

圖5是簡要表示圖1所示的諧振裝置的沿著X軸的截面的圖。

圖6是簡要表示圖1所示的諧振裝置的動作時的沿著Y軸的截面的圖。

圖7是表示附著于振動臂的前端的粒子的粒徑分布的圖表。

圖8是表示以振幅10μm激勵時施加于粒子的范德瓦爾斯力和慣性力平衡的條件的圖表。

圖9是表示以振幅100μm激勵時施加于粒子的范德瓦爾斯力和慣性力平衡的條件的圖表。

具體實施方式

以下，參照附圖并對本發明的實施方式進行說明。在以下的附圖的記載中，由相同或類似的附圖標記表示相同或類似的構成要素。附圖是例示的，各部的尺寸、形狀是示意性的，不應將本發明的技術范圍限定于該實施方式來解釋。

＜實施方式＞

首先，參照圖1和圖2并對本發明的實施方式所涉及的諧振裝置1的結構進行說明。圖1是簡要表示本發明的實施方式所涉及的諧振裝置的外觀的立體圖。圖2是簡要表示本發明的實施方式所涉及的諧振裝置的構造的分解立體圖。

(諧振裝置1)