[發明專利]蒸氣作為光學系統中的保護劑及生命延長劑

有效

• 申請號: 201980051251.3
• 申請日: 2019-08-23
• 公開（公告）號: CN112567285B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: D·J·扎雷;E·索托;I-F·吳;J·沃爾什;K·麥克南;J·阿姆斯特朗;C·戴維斯;G·羅斯;D·卡瓦門;B·布爾法因特;A·埃薩尼
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種光學系統，其包括：

光學組件，其中所述光學組件是CaF₂、MgF₂、LiF₂、BaF₂、SrF₂或BeF₂中的一者；

外殼，其環繞所述光學組件；及

蒸氣源，其與所述外殼流體連通，其中所述蒸氣源以從500ppm到15000ppm的蒸氣水平將蒸氣提供到所述外殼，其中所述蒸氣是水、甲醇、乙二醇或乙醇中的一者。

2.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣是水。

3.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣水平是從500ppm到小于5000ppm。

4.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣水平是從大于5000ppm到15000ppm。

5.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣源包含起泡器。

6.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣源包含可透膜，且其中所述可透膜包含納菲薄膜或聚酰胺。

7.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣源包含半透膜。

8.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣源包含電荷鑲嵌膜或雙極膜。

9.根據權利要求1所述的光學系統，其中所述蒸氣源包含氣體源，其中所述氣體源提供氮氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳、氪氣、氬氣、氙氣、氫氣、氧氣、壓縮的干燥空氣或其混合物，其中來自所述氣體源的氣體被與所述蒸氣混合。

10.根據權利要求1所述的光學系統，其進一步包括安置成與所述外殼流體連通的蒸氣傳感器，其中所述蒸氣傳感器是一氧化碳檢測器、二氧化碳檢測器、濕度計或氫氣傳感器中的一者。

11.根據權利要求10所述的光學系統，其進一步包括與所述蒸氣傳感器進行電子通信的處理器，其中所述處理器經配置以基于來自所述蒸氣傳感器的讀數而調整來自所述外殼的沖洗氣體中的所述蒸氣水平。

12.一種用于改進光學系統的生命的方法，其包括：

使蒸氣從蒸氣源流動到環繞光學組件的外殼，其中所述光學組件是CaF₂、MgF₂、LiF₂、BaF₂、SrF₂或BeF₂中的一者；及

使沖洗氣體中的蒸氣水平維持為從500ppm到15000ppm，其中所述蒸氣是水、甲醇、乙二醇或乙醇中的一者。

13.根據權利要求12所述的方法，其中所述蒸氣水平是從500ppm到小于2000ppm。

14.根據權利要求12所述的方法，其中所述蒸氣水平是從大于5000ppm到15000ppm。

15.根據權利要求12所述的方法，其進一步包括使用安置于所述外殼中的蒸氣傳感器來測量所述外殼中的所述蒸氣水平。

16.根據權利要求15所述的方法，其中所述維持是基于來自所述蒸氣傳感器的讀數而進行。

17.根據權利要求1所述的系統，其中所述蒸氣水平是從大于800ppm到2200ppm。

18.根據權利要求12所述的方法，其中所述蒸氣水平是從大于800ppm到2200ppm。