[發明專利]用于檢查和/或處理樣品的設備和方法

在審

• 申請號: 201980051063.0
• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN112534540A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: C.鮑爾;M.布達赫
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;G01Q20/00;G01Q30/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種用于檢查和/或處理樣品(400、2010)的設備(2400、2600)，所述設備(2400、2600)包括：

a.用于提供帶電粒子束(840)的掃描粒子顯微鏡(2410)，所述帶電粒子束能夠被指引在所述樣品(400、2010)的表面上；和

b.具有可偏轉探針(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的掃描探針顯微鏡(2470)；

c.其中，檢測結構(230、530、1030、1130、1230、1330、1530、1630、1690、2630)附接到所述可偏轉探針(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)。

2.根據權利要求1所述的設備(2400)，其中，所述掃描粒子顯微鏡(2410)配置為實行以下組中的至少一個要素：將所述帶電粒子束(240)指引到所述檢測結構(230、530、1030)上，在所述檢測結構(1330、1530、1630)之上實行所述帶電粒子束的線掃描，以及在所述檢測結構(1130、1230、1690)之上掃描所述帶電粒子束(1140)。

3.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400、2600)，其中，所述檢測結構(230、530、1030、1130、1230、1330、1530、1630、1690、2630)的材料成分不同于所述可偏轉探針(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的材料成分。

4.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(530、1130、1230、1530、1690)具有圓柱形、圓錐形、桿狀或n邊形的結構，其中n≥3。

5.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(530)包括具有不同原子數的至少兩個分開的、相鄰材料(533、536)。

6.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(230、1030)包括檢測區域(230、1030)，所述檢測區域配置為優化帶電二次電子(260)和/或背向散射電子(560)的發射。

7.根據權利要求1-5中任一項所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(530、1330、1530、1630)包括至少一個面狀元件(530、1330、1530、1630)，并且其中，所述面狀元件(530、1330、1530、1630)的法向矢量被指引為實質上平行于所述可偏轉探針(500、1300、1500、1600)的縱軸。

8.根據權利要求7所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(1330)包括至少兩個面狀元件(1340、1360)，所述面狀元件沿著所述可偏轉探針(1300)的縱軸布置。

9.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400)，其中，所述檢測結構(1130、1230、1690)包括至少一個標記(1130、1240、1260、1690)。

10.根據權利要求1所述的設備(2600)，還包括光學光指針系統(2650)，其中，所述檢測結構(2630)包括反射結構(2630)，所述反射結構配置為反射所述光學光指針系統(2650)的光學輻射，并且其中，所述反射結構(2630)相對于所述可偏轉探針(2600)的前側(115)以不同于零的角度布置。

11.根據前述權利要求中任一項所述的設備(2400、2600)，其中，所述探針(800、900)具有開口(820)，所述開口實施為使得所述帶電粒子束(840)能夠通過所述開口(820)被指引到所述樣品(400，2010)上。