[發明專利]上提拉開放式單晶爐

在審

• 申請號: 201980051052.2
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN112513344A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 王宇;官偉明;梁振興
• 申請（專利權）人: 眉山博雅新材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/16
• 代理公司: 成都七星天知識產權代理有限公司 51253
• 代理人: 楊永梅

1.一種晶體生長裝置，其特征在于，至少包括：

爐膛；所述爐膛包括爐體和爐蓋；所述爐蓋設置于所述爐體頂部；所述爐蓋設置第一通孔；

其中，所述第一通孔用于放置溫場。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：

所述爐體的側壁以及爐蓋上設置有冷卻結構。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：

所述爐蓋上設置的冷卻結構包括至少一圈方形銅管；所述方形銅管通冷卻介質。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

爐架；所述爐膛設置于所述爐架上；

其中，所述溫場包括密封筒、設置在密封筒頂部的蓋板以及設置在密封筒底部的底板；所述蓋板上開設有第二通孔；

穿過所述第二通孔伸入所述溫場內部的提拉桿組件；以及

熱源；所述熱源設置于爐膛與溫場之間。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

提拉組件；所述提拉組件用于驅動提拉桿組件的上下移動；以及

旋轉組件；所述旋轉組件用于驅動提拉桿組件的轉動。

6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于：

所述提拉組件包括：立柱、滑塊、絲桿以及第一驅動裝置；

所述第一驅動裝置設置于立柱頂部；

所述立柱上設置有滑軌；

所述絲桿與所述滑軌平行設置，且所述絲桿的一端與所述第一驅動裝置相連；

所述滑塊套設于所述絲桿上，與絲桿為螺紋配合；所述滑塊至少一部分位于所述滑槽內，所述絲桿的轉動能夠帶動所述滑塊沿所述滑槽上下移動；

所述旋轉組件設置于所述滑塊上。

7.如權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

稱重組件；所述稱重組件用于確定提拉桿組件上晶體的重量，所述稱重組件設置于所述滑塊上。

8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：

所述旋轉組件至少包括：第二驅動裝置以及傳動組件；

所述第二驅動裝置能夠通過所述傳動組件帶動所述稱重組件的轉動。

9.如權利要求8所述的裝置，其特征在于：

所述稱重組件包括稱重室及稱重傳感器；

所述稱重傳感器設置于所述稱重室內部；

所述稱重傳感器的一端與所述提拉桿組件固連；

所述稱重傳感器的另一端與所述稱重室的蓋板固連。

10.如權利要求9所述的裝置，其特征在于：

所述傳動組件包括皮帶輪及皮帶；

所述第二驅動裝置的輸出轉軸與所述皮帶輪的轉軸相連；

所述皮帶輪上和所述稱重室上套設有至少一根皮帶。

11.如權利要求10所述的裝置，其特征在于：

所述提拉桿組件至少具有中桿及導桿；

所述中桿的一端和所述稱重室固連；

所述中桿穿過所述滑塊上設置的第三通孔；

所述中桿具有中空結構；

所述導桿穿過所述中桿；

其中，所述導桿的一端與所述稱重傳感器相連；所述導桿的另一端用于連接籽晶桿。

12.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述溫場包括底板、蓋板、筒以及填充體；

所述底板設置于所述溫場底部，覆蓋于所述筒一開口端；

所述蓋板設置于所述溫場頂部，覆蓋于所述筒另一開口端；

所述填充體填充于所述筒內部。