[發明專利]維護模式電源系統

在審

• 申請號: 201980049063.7
• 申請日: 2019-07-25
• 公開（公告）號: CN112470248A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 尼爾·馬丁·保羅·本杰明;約翰·皮斯
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;邱曉敏

1.一種雙模式電源設備，其包括：

電源連接器，其被配置為與第一電壓電源或第二電壓電源中的一個耦合；以及

控制電路，其耦合在所述電源連接器的輸出與等離子體處理裝置的第一和第二電壓子系統之間，所述控制電路被配置為：

響應于所述電源連接器被連接到所述第一電壓源，在所述等離子體處理裝置的第一操作模式下，基于所述第一電壓電源將第一電壓提供給所述第一電壓子系統，以及

響應于所述電源連接器被連接到所述第二電壓電源，在所述等離子體處理裝置的第二操作模式下，基于所述第二電壓電源將第二電壓提供給所述第二電壓子系統。

2.根據權利要求1所述的雙模式電源設備，其中，所述第一操作模式包含所述等離子體處理裝置的使用所述第一電壓的操作模式，其中，所述第二操作模式包含所述等離子體處理裝置的使用所述第二電壓的維護模式。

3.根據權利要求2所述的雙模式電源設備，其中，所述操作模式被配置用于處理設置在所述等離子體處理裝置的室中的晶片，其中，所述維護模式被配置用于測試或校準所述等離子體處理裝置的組件。

4.根據權利要求2所述的雙模式電源設備，其中，所述控制電路被配置為：

響應于所述電源連接器被連接到所述第一電壓源，檢測所述第一電壓；

在所述操作模式下將所述第一電壓提供給所述第一電壓子系統，

將所述第一電壓轉換為所述第二電壓，以及

在所述維護模式下將所述第二電壓提供給所述第二電壓子系統。

5.根據權利要求1所述的雙模式電源設備，其中，所述電源連接器包含單個輸入連接器，所述單個輸入連接器被配置為接收所述第一電壓電源或所述第二電壓電源中的一個。

6.根據權利要求2所述的雙模式電源設備，其中，所述控制電路進一步包括：

第一電路，其連接在所述電源連接器的所述輸出和所述第一電壓子系統的輸入之間；以及

第二電路，其連接在所述電源連接器的所述輸出和所述第二電壓子系統的輸入之間。

7.根據權利要求6所述的雙模式電源設備，其中，所述第二電路包括：

熔斷器，其被配置為響應于在所述第二電路上檢測到由所述第一電壓電源生成的所述第一電壓而斷開所述第二電路；

耦合到所述熔斷器的初級浪涌防止電路，所述初級浪涌防止電路被配置為在所述第一操作模式下被禁用，并且在所述第二操作模式下被啟用；

耦合到所述初級浪涌防止電路的次級浪涌防止電路；

耦合到所述初級浪涌防止電路和所述次級浪涌防止電路的涌流保護電路，所述涌流保護電路被配置為限制來自所述初級浪涌防止電路和所述次級浪涌防止電路的電流；

耦合到所述熔斷器的直流(DC)到DC轉換器，所述DC到DC轉換器被配置為將所述第一電壓轉換為所述第二電壓；

耦合到所述初級浪涌防止電路的第一模式電路，所述第一模式電路被配置為響應于檢測到由所述第一電壓電源生成的所述第一電壓而禁用所述初級浪涌防止電路；以及

耦合到所述涌流保護電路和所述DC到DC轉換器的基于二極管的開關電路，所述基于二極管的開關電路被配置為在所述涌流保護電路的輸出與所述DC到DC轉換器的輸出之間進行選擇。

8.根據權利要求7所述的雙模式電源設備，其中，所述熔斷器被配置為禁用到所述第二電路的電力。

9.根據權利要求7所述的雙模式電源設備，其中，所述DC到DC轉換器由所述第一電壓電源在所述第一操作模式下供電。

10.根據權利要求7所述的雙模式電源設備，其中，所述初級浪涌防止電路包含以下至少一種：具有自動重啟的基于自舉電流的浪涌抑制器、不具有自動重啟的基于自舉電流的浪涌抑制器、多個浮動柵極、具有接地參考控制電路的耗盡模式傳輸元件、耗盡模式傳輸元件或機械繼電器。