[發(fā)明專利]用于提供兩個偏移激光束的光學(xué)設(shè)備和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980048506.0
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN112469527A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 保羅-艾蒂安·馬丁;塞巴斯蒂安·伊斯特瓦;阿克塞爾·庫皮斯維茲;約瑟-安東尼奧·拉莫斯·德·坎普斯
• 申請（專利權(quán)）人: 激光工程應(yīng)用有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/0622
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 梁倩;馬芬

1.一種用于提供至少第一激光束(10)和第二激光束(20)的方法，所述第一激光束和所述第二激光束相對于輸入激光束(301)在空間上偏移，所述方法包括以下步驟：

a.提供用于產(chǎn)生所述輸入激光束(301)的激光源(300)，使得所述輸入激光束具有隨時間固定的偏振；

b.提供用于相對于所述輸入激光束(301)產(chǎn)生偏移激光束(7)的空間偏移單元(1)，

所述偏移激光束(7)具有主傳播軸線A，并且

適于在垂直于所述主傳播軸線A的平面中描繪出圓，

所述空間偏移單元(1)能夠在所述輸入激光束(301)與所述偏移激光束(7)之間保持相同的偏振；

c.提供分離單元(2)，所述分離單元包括第一偏振分離裝置(51)，以從所述偏移激光束(7)：

■通過透射獲得具有第一主傳播軸線(11)的第一空間偏移激光束(10)，以及

■通過反射獲得具有第二主傳播軸線(21)的第二空間偏移激光束(20)；

所述分離單元(2)被配置成使得所述第一空間偏移激光束(10)和所述第二空間偏移激光束(20)適于分別在垂直于所述第一主傳播軸線(11)和所述第二主傳播軸線(21)的平面中描繪出圓。

2.根據(jù)前一項權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，所述空間偏移單元(1)適于改變所述輸入激光束(301)與所述偏移激光束(7)之間的空間偏移。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述第一主傳播軸線(11)垂直于所述第二主傳播軸線(21)。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，第一分離模塊(50)包括在所述第一偏振分離裝置(51)上游的偏振管理裝置。

5.根據(jù)前一項權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，所述偏振管理裝置包括優(yōu)選地為半波板的延遲板(55)，使得所述延遲板(55)的旋轉(zhuǎn)引起由所述第一偏振分離裝置(51)對透射功率和反射功率的調(diào)節(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述偏振管理裝置包括兩個延遲板(55，56)，所述兩個延遲板優(yōu)選地為兩個四分之一波板(55，56)，使得所述兩個四分之一波板(55；56)中的至少一個的旋轉(zhuǎn)引起由所述第一偏振分離裝置(51)對透射功率和反射功率的調(diào)節(jié)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下附加的步驟：

d.提供位于所述分離單元(2)下游的第一偏轉(zhuǎn)裝置(15)和第二偏轉(zhuǎn)裝置(25)，以將所述第一空間偏移激光束(10)和所述第二空間偏移激光束(20)引導(dǎo)到至少一個工件(201；211)；

e.提供分別位于所述第一偏轉(zhuǎn)裝置(15)和所述第二偏轉(zhuǎn)裝置(25)下游的第一聚焦裝置(17)和第二聚焦裝置(27)，以便將所述第一空間偏移激光束(10)和所述第二空間偏移激光束(20)聚焦到所述至少一個工件(201；211)上。

8.一種用于激光加工的光學(xué)設(shè)備，所述光學(xué)設(shè)備包括：

-空間偏移單元(1)，所述空間偏移單元用于從輸入激光束(301)獲得偏移激光束(7)，所述偏移激光束具有主傳播軸線A并且適于在垂直于所述主傳播軸線A的平面中描繪出圓；

-分離單元(2)，所述分離單元包括第一分離模塊(50)，所述第一分離模塊包括第一偏振分離裝置(51)，所述第一偏振分離裝置用于從所述偏移激光束(7)：

о通過透射獲得具有第一主傳播軸線(11)的第一空間偏移激光束(10)，以及

о通過反射獲得具有第二主傳播軸線(21)的第二空間偏移激光束(20)，所述空間偏移單元(1)能夠在所述輸入激光束(301)與所述偏移激光束(7)之間保持相同的偏振；

所述分離單元(2)被配置成使得所述第一空間偏移激光束(10)和所述第二空間偏移激光束(20)適于分別在垂直于所述第一主傳播軸線(11)和所述第二主傳播軸線(21)的平面中描繪出圓。