[發明專利]氣體激光的氣體成分監控裝置

在審

• 申請號: 201980048019.4
• 申請日: 2019-07-16
• 公開（公告）號: CN112424696A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 車桐鎬
• 申請（專利權）人: 車桐鎬
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種氣體激光的氣體成分監控裝置，其附著在提供反應空間的氣體激光生成室來使用，所述反應空間容納有包含異種氣體的混合氣體以使生成氣體激光，其特征在于，

所述氣體激光的氣體成分監控裝置，

與所述氣體激光生成室側連接以使從所述氣體激光生成室接收所流入的所述混合氣體，且監控容納于所述氣體激光生成室的所述反應空間的所述混合氣體的成分；

利用分光學手段獲得關于所述反應空間中容納的所述混合氣體的成分或不必要的物質的引入或產生與否的信息，

所述氣體激光的氣體成分監控裝置，包括：

流入管，其一側以能夠與所述氣體激光生成室連通的方式結合；

監控室，其以能夠與所述流入管的另一側連通的方式結合，且提供分析空間，所述分析空間通過所述流入管接收并容納所流入的所述混合氣體，

還包括：電極，其安裝在所述監控室，從外部接收所供給的電力而在所述監控室內的所述分析空間形成等離子體。

2.根據權利要求1所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述氣體激光的氣體成分監控裝置還包括：分光儀，其配置在所述監控室的一側，且用于從在所述監控室內的所述分析空間形成的等離子體獲得關于所述混合氣體的成分或不必要的物質的引入或產生與否的信息。

3.根據權利要求2所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述氣體激光的氣體成分監控裝置還包括：流出管，其一側端以能夠與所述監控室連通的方式結合，且引導從所述反應空間排出所述混合氣體的移動。

4.根據權利要求3所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述氣體激光生成室配備有能夠從所述反應空間向外部排出所述混合氣體的排出管，

所述流出管的另一側端以能夠與所述排出管連通的方式結合。

5.根據權利要求3所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述流出管的另一側端與所述氣體激光生成室結合以使所述監控室與所述氣體激光生成室連通。

6.根據權利要求4所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述氣體激光生成室配備有能夠從所述反應空間向外部排出所述異種氣體的排出管，

所述流出管以能夠與所述排出管連通的方式結合，且所述流出管配備有切換閥，以使容納在所述監控室內的所述混合氣體選擇性流出到所述氣體激光生成室及所述排出管中的任一側。

7.根據權利要求2所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述監控室配備有光學窗，以使觀測在所述監控室內的所述分析空間形成的所述等離子體。

8.根據權利要求7所述的氣體激光的氣體成分監控裝置，其特征在于，

所述光學窗由石英或藍寶石材質形成，以便具有化學耐久性且能夠將向所述分光儀側透過的光的波長范圍帶確保在規定程度以上。