[發明專利]液體混合供給裝置

有效

• 申請號: 201980046627.1
• 申請日: 2019-07-04
• 公開（公告）號: CN112399883B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 李連范;林澤圭;林根福;趙皓峻;金圣洙;安哲秀;金哲泳;楊承和
• 申請（專利權）人: 先技高科技有限公司
• 主分類號: B01F23/45
• 分類號: B01F23/45;B01F35/71;B01F35/221;B01F25/20
• 代理公司: 北京卓恒知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 唐曙暉;劉明芳

本發明通過維持恒壓的液體供給部并基于容器內部和藥品排出管內的壓力傳感器持續且實時地測定壓力，當壓力發生異常時能夠迅速地排出氣體，從而可穩定地供給原液，混合原液后確認基準濃度，當未滿足基準濃度時，將混合液體重新傳遞給混合罐部，并通過射流噴嘴部件噴射混合液體，以縮短第一次混合的液體的混合時間，因此本發明具有可實現大量生產混合液體和確保質量穩定的優點。

技術領域

本發明涉及液體混合供給裝置，具體涉及一種液體混合供給裝置，其用于將具有化學成分的多個原液混合并將混合的液體供給到指定的工藝，該裝置包括：原液儲罐部，其用于分別儲存多個原液；維持恒壓的液體供給部，其將由各所述原液儲罐部傳遞的各原液在維持一定壓力的狀態下選擇性地供給到混合裝置部；混合裝置部，其用于混合由所述維持恒壓的液體供給部供給的多個原液；混合罐部，其用于儲存由所述混合裝置部傳遞的混合液體；濃度確認部，其用于確認由所述混合罐部傳遞的液體的濃度；吐出管道部，其用于吐出滿足通過所述濃度確認部預設的濃度的混合液體；循環管道部，其將未滿足通過所述濃度確認部預設的濃度的混合液體重新傳遞到所述混合罐部。

背景技術

通常，在半導體工藝、LCD工藝、制藥制造工藝等各種產業現場生產線中，液體供給裝置在材料供給壓力不穩定、過高時，為了使供給壓力穩定且為了通過減壓效果來實現精確的分配作業，組合使用除抽送裝置以外的壓力調壓器、壓差式流量計及各種傳感器。

所述液體壓力調壓器作為通過對從泵中高壓吐出的液體進行減壓并以適當的壓力供給到Pro-Pump后吐出且在液體的供給壓力(Inlet Pressure)以各種方式變化的情況下可維持一定出口壓力(Outlet Pressure)的裝置，是為了使大量裝置穩定地運行所必備的裝置。優選地，使用者應該選擇最適合作業的壓力調壓器產品，此時重要的考量內容包括種類、材質、入口及出口的壓力、流量條件、溫度、壓力、大小、其他限制條件等。

另外，壓差式流量計結構簡單且可應用于液體、氣體、蒸汽中的任意一個，而且壓差式流量計很久以前就作為工業用流量計被廣為使用。壓差式流量計的基本配置包括縮窄機構及壓差檢測儀，如果在流體流動的管道中間設置縮窄機構并使流體的通過面積變窄，則基于縮窄機構上產生的阻力，其前后產生壓力差，在該壓力差，即壓差和流量之間存在可用伯努利原理(Bernoulli's Principle)表達的一定的關系式。利用該原理的便是壓差式流量計。生成壓差的傳感器中具有代表性的包括文丘里管、孔口、流量噴嘴V-Cone等，所述壓差檢測儀根據傳送方式、測量原理可大體分為氣式、電式、光式，目前主流為電式。

另外，作為一正在使用的液體供給裝置，公開了以下專利文獻1的“液態產品的制造或者供給方法(韓國公開專利公報第10-2014-0090639號)”。

所述專利文獻1的“液態產品的制造或者供給方法”是為了將包括二氧化碳或者二氧化氮的氣體溶解在液體中利用薄膜接觸器制造或者供給液態產品，所述薄膜接觸器具有利用多個氣體透過性中空纖維而且與所述纖維的內部連通的氣體端口；圍繞所述纖維且與所述接觸器內部空間連通的液體用輸入端口；以及輸出端口，所述方法的特征在于包括：將所述氣體以控制的壓力向所述氣體端口供給的步驟；通過包括與液體供給部連通的第一閥門入口端口及與液體用入口端口連通的第一閥門出口端口的第一閥門,以高于所述氣體的壓力將液體從所述液體供給部共給到所述液體用輸入端口的步驟；通過供給嘴從所述液體用輸出端口向周圍供給溶解有所述氣體的液體的步驟，而且供給所述液體的步驟包括開始供給的供給開始步驟及用于結束供給的供給中斷步驟；所述第一閥門在所述供給開始步驟中與所述供給嘴一起開放，在所述供給中斷步驟中被關閉，從所述第一閥門被關閉開始，在所述第一閥門處于關閉狀態的期間，通過與所述空間連通來解除液體壓力的上升的步驟，如果液體沒有流動所需條件，則可防止纖維被水浸入，在供給液體的較短的時間，將施加高于輸入的氣體壓力的液體壓力，這不會對薄膜起到長期作用，具有可防止所述接觸器和所述供給嘴之間的管道中碳酸液體的過度飽和的優點。