[發明專利]藥液、試劑盒、圖案形成方法、藥液的制造方法及藥液收容體

在審

• 申請號: 201980046230.2
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN112384858A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 大松禎;上村哲也;清水哲也;高橋智美;大津曉彥
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/50;G03F7/32;H01L21/304
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 薛海蛟

1.一種藥液，其含有有機溶劑、酸成分及金屬成分，

相對于所述藥液的總質量，所述酸成分的含量為1質量ppt以上且15質量ppm以下，

相對于所述藥液的總質量，所述金屬成分的含量為0.001質量ppt～100質量ppt。

2.根據權利要求1所述的藥液，其中，

所述酸成分的含量相對于所述金屬成分的含量的質量比例為10^-2～10⁶。

3.根據權利要求1或2所述的藥液，其中，

所述酸成分包含有機酸，

相對于所述藥液的總質量，所述有機酸的含量為1質量ppm以下。

4.根據權利要求3所述的藥液，其中，

所述有機酸中，相對于所述有機酸的總質量，所述有機溶劑的沸點以上的有機酸的含量為20質量％以下。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的藥液，其中，

所述酸成分包含無機酸，

相對于所述藥液的總質量，所述無機酸的含量為1質量ppb以下。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的藥液，其中，

所述金屬成分包含含有金屬原子的含金屬粒子，

相對于所述藥液的總質量，所述含金屬粒子的含量為0.00001質量ppt～10質量ppt。

7.根據權利要求6所述的藥液，其中，

所述含金屬粒子中，粒徑為0.5nm～17nm的金屬納米粒子的、所述藥液的每單位體積的含有粒子數為1.0×10^-2個/cm³～1.0×10⁶個/cm³。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的藥液，其中，

所述金屬成分包含金屬離子，

相對于所述藥液的總質量，所述金屬離子的含量為0.01質量ppt～100質量ppt。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的藥液，其中，

所述金屬成分包含含金屬粒子及金屬離子，

所述含金屬粒子的含量相對于所述金屬離子的含量的質量比例為0.00001～1。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的藥液，其還含有水，

相對于所述藥液的總質量，所述水的含量為1質量ppm以下。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的藥液，其還含有選自由具有酰胺結構的化合物、具有磺酰胺結構的化合物、具有膦酰胺結構的化合物、具有酰亞胺結構的化合物、具有脲結構的化合物、具有氨基甲酸酯結構的化合物及有機酸酯組成的組中的至少一種有機化合物，

相對于所述藥液的總質量，所述有機化合物的含量為1質量ppm以下。

12.根據權利要求11所述的藥液，其中，

所述有機化合物是沸點為300℃以上的有機化合物。

13.根據權利要求11或12所述的藥液，其中，

所述有機酸酯包含選自由鄰苯二甲酸酯及檸檬酸酯組成的組中的至少一種。

14.根據權利要求1至13中任一項所述的藥液，其中，

所述有機溶劑中，相對于所述有機溶劑的總質量，沸點為250℃以下的有機溶劑的含量為90質量％以上。

15.根據權利要求1至14中任一項所述的藥液，其中，

所述有機溶劑的SP值為21以下。

16.根據權利要求1至15中任一項所述的藥液，其中，

所述有機溶劑具有酯結構。