[發(fā)明專利]基板搬送裝置及其運轉(zhuǎn)方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980043224.1
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN112368819A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 福島崇行;木下真也;松岡翔吾;岡田拓之
• 申請（專利權(quán)）人: 川崎重工業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J15/08
• 代理公司: 上海瀚橋?qū)＠硎聞?wù)所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲

1.一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持的基板把持并搬送，其特征在于：

前述基板搬送裝置具備

機械臂；

基板把持手，配設(shè)于前述機械臂的梢端部；

執(zhí)行器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉(zhuǎn)；以及

控制裝置；

前述基板把持手具有板狀的基座構(gòu)件、第一卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的基端部的下部、第二卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的下部、第三卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的上部、和可動導(dǎo)引構(gòu)件，構(gòu)成為可于前述橫搖軸方向移動；

前述控制裝置構(gòu)成為執(zhí)行：（A）以使前述基板通過前述基板把持手的前述第一卡合構(gòu)件與前述第二卡合構(gòu)件保持的方式，使前述機械臂動作；（B）在前述（A）之后，以前述基板的作為與前述基座構(gòu)件相向的一側(cè)的主面的第一主面位于比前述基座構(gòu)件上方，且前述第一主面的法線朝向比水平面下方的方式，使前述執(zhí)行器動作；及（C）藉由前述可動導(dǎo)引構(gòu)件往前述基座構(gòu)件的梢端部側(cè)移動而按壓前述基板的周面，使得通過前述第二卡合構(gòu)件與前述第三卡合構(gòu)件與前述可動導(dǎo)引構(gòu)件把持前述基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的，其特征在于，

前述基板把持手進一步具有第四卡合構(gòu)件，前述第四卡合構(gòu)件配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的下部、前述第二卡合構(gòu)件的下方、且比前述第二卡合構(gòu)件更靠基端側(cè)；

前述控制裝置以在前述（C）中，通過前述第三卡合構(gòu)件與前述第四卡合構(gòu)件與前述可動導(dǎo)引構(gòu)件把持前述基板的方式構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板搬送裝置，其特征在于，

前述控制裝置以在前述（C）中，通過前述第二卡合構(gòu)件與前述第三卡合構(gòu)件與前述第四卡合構(gòu)件與前述可動導(dǎo)引構(gòu)件把持前述基板的方式構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的基板搬送裝置，其特征在于，

前述基板，以傾斜姿勢被保持；

前述控制裝置構(gòu)成為執(zhí)行：（A1）在前述（A）中，以前述基板把持手位于前述第一主面的上方的方式，使前述機械臂動作；和（A2）在前述（A1）之后，以使前述基板通過前述基板把持手的前述第一卡合構(gòu)件與前述第二卡合構(gòu)件保持的方式，使前述機械臂動作。

5.一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持的基板把持并搬送，其特征在于：

前述基板搬送裝置具備

機械臂；

基板把持手，配設(shè)于前述機械臂的梢端部；

執(zhí)行器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉(zhuǎn)；

第一偵測器，偵測前述基板是否正常地把持于前述基板把持手；以及

控制裝置；

前述基板把持手具有板狀的基座構(gòu)件、第一卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的基端部的下部、第二卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的下部、第三卡合構(gòu)件，配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的上部、和可動導(dǎo)引構(gòu)件，構(gòu)成為可于前述橫搖軸方向移動；

前述控制裝置構(gòu)成為：（D）以使前述基板通過前述基板把持手的前述第一卡合構(gòu)件與前述第二卡合構(gòu)件保持的方式，使前述機械臂動作；（E）在前述（D）之后，藉由前述可動導(dǎo)引構(gòu)件往前述基座構(gòu)件的梢端部側(cè)移動而按壓前述基板的周面，使得通過前述第二卡合構(gòu)件與前述第三卡合構(gòu)件與前述可動導(dǎo)引構(gòu)件把持前述基板；（F）在前述（E）之后，若前述第一偵測器偵測前述基板沒有正常地把持于前述基板把持手，則使前述可動導(dǎo)引構(gòu)件往前述基座構(gòu)件的基端部側(cè)移動，并以前述基板的作為與前述基座構(gòu)件相向的一側(cè)的主面的第一主面位于比前述基座構(gòu)件上方，且前述第一主面的法線朝向比水平面下方的方式，使前述執(zhí)行器動作；及在前述（F）之后，再次執(zhí)行前述（E）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬送裝置，其特征在于，

前述基板把持手進一步具有第四卡合構(gòu)件，前述第四卡合構(gòu)件配置于前述基座構(gòu)件的梢端部的下部、前述第二卡合構(gòu)件的下方、且比前述第二卡合構(gòu)件更靠基端側(cè)；

前述控制裝置，以在前述（E）中，通過前述第三卡合構(gòu)件與前述第四卡合構(gòu)件與前述可動導(dǎo)引構(gòu)件把持前述基板的方式構(gòu)成。