[發明專利]確定電子光斑的寬度和高度

在審

• 申請號: 201980041318.5
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN112314060A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 波爾·塔克曼;烏爾夫·倫德斯托姆;比約恩·漢森
• 申請（專利權）人: 伊克斯拉姆公司
• 主分類號: H05G1/26
• 分類號: H05G1/26;H01J35/14
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 韓鵬;韓輝峰

1.一種X射線源中的方法，該X射線源被配置為從相互作用區域發射通過電子束與靶標之間的相互作用生成的X射線輻射，該方法包括以下步驟：

提供該靶標；

提供該電子束；

使該電子束相對于該靶標沿第一方向偏轉；

檢測指示該電子束與該靶標之間的相互作用的電子；

基于檢測到的電子和該電子束的偏轉，確定該電子束在該靶標上沿該第一方向的第一延伸；

檢測通過該電子束與該靶標之間的相互作用生成的X射線輻射；以及

基于檢測到的X射線輻射，確定該電子束在該靶標上沿第二方向的第二延伸。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，該靶標部分地遮蓋傳感器區，該方法進一步包括：

使該電子束的至少一部分在該靶標與該傳感器區的未遮蓋部分之間偏轉。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中，檢測到的電子是以下中的至少一種：二次電子、反向散射電子、穿過該靶標的電子以及在該靶標中吸收的電子。

4.根據權利要求1所述的方法，進一步包括基于檢測到的X射線輻射確定該相互作用區域的大小。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，沿該第二方向確定該相互作用區域的大小。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，該電子束在該靶標上形成光斑，該光斑在該第一方向上比在該第二方向上更寬。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，該光斑是線形的。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，該第一方向基本上垂直于該第二方向。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，該靶標沿該第二方向移動。

10.根據權利要求1所述的方法，進一步包括：

基于該電子束的所確定的第一延伸和所確定的第二延伸中的至少一個來調整該電子束的強度，使得供應給該靶標的功率密度保持在預定極限以下。

11.根據權利要求1所述的方法，進一步包括調整該電子束，使得減小該電子束在該靶標上的該第二延伸，同時保持該電子束在該靶標上的該第一延伸。

12.一種被配置為發射X射線輻射的X射線源，該X射線源包括：

靶標；

電子源，該電子源能夠操作以生成在相互作用區域中與該靶標相互作用的電子束，從而生成X射線輻射；

電子-光學裝置，該電子-光學裝置用于控制該電子束；

第一傳感器，該第一傳感器適于檢測指示該電子束與該靶標之間的相互作用的電子；

第二傳感器，該第二傳感器適于檢測通過該電子束與該靶標之間的相互作用生成的X射線輻射；以及

控制器，該控制器可操作地連接到該第一傳感器、該第二傳感器和該電子-光學裝置；

其中：

該電子-光學裝置被配置為使該電子束相對于該靶標在第一方向上偏轉；

該控制器適于：

基于檢測到的電子和該電子束的偏轉，確定該電子束在該靶標上沿該第一方向的第一延伸；并且

基于檢測到的X射線輻射，確定該電子束在該靶標上沿第二方向的第二延伸。

13.根據權利要求12所述的X射線源，其中，該靶標是被配置為沿該第二方向移動的移動靶標。

14.根據權利要求12所述的X射線源，其中，該靶標是沿該第二方向傳播的液體靶標。

15.根據權利要求13或14所述的X射線源，其中，該第二傳感器被布置為檢測在基本上垂直于該電子束和該靶標的移動方向的方向上傳播的X射線輻射。