[發明專利]KNN膜形成用液體組合物及使用該液體組合物的KNN膜的形成方法在審
| 申請號： | 201980039936.6 | 申請日： | 2019-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN112335062A | 公開（公告）日： | 2021-02-05 |
| 發明（設計）人： | 辻內直人;土井利浩;曾山信幸 | 申請（專利權）人： | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/317 | 分類號： | H01L41/317;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁興利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | knn 形成 液體 組合 使用 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種KNN膜形成用液體組合物，其包含：有機金屬化合物與溶劑，所述有機金屬化合物包含有機鉀化合物、有機鈉化合物及有機鈮化合物，其特征在于，
所述有機鉀化合物及所述有機鈉化合物分別為由通式CnH2n+1COOH表示的羧酸的金屬鹽，其中，4≤n≤8，
所述有機鈮化合物為烷氧化鈮或由所述通式CnH2n+1COOH表示的羧酸的金屬鹽，其中，4≤n≤8，
所述溶劑中主溶劑為由所述通式CnH2n+1COOH表示的羧酸，且相對于所述液體組合物100質量％包含50質量％～90質量％，其中，4≤n≤8。
2.一種KNN膜的形成方法，將權利要求1所述的KNN膜形成用液體組合物涂布于基板的電極上之后，以150℃以上且350℃以下的溫度進行預燒而形成預燒膜，再將所述預燒膜以10℃/秒以上的速度升溫并以600℃以上且800℃以下的溫度進行燒成而形成結晶化的KNN膜。
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