[發明專利]應變傳感器和拉伸特性測定方法

在審

• 申請號: 201980038404.0
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN112236657A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 樋上智彥;森山信宏
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L25/00;H01L41/113;H01L41/193
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;黃綸偉

1.一種應變傳感器，其在板狀的基板的一個面層疊有形成為膜狀的傳感器元件，

所述傳感器元件具有壓電膜和層疊在該壓電膜的兩面的電極，

關于所述基板，所述一個面形成為所層疊的所述傳感器元件不伸出到外側的大小，并且，在與所述一個面平行的拉伸方向上的兩端部具有未層疊所述傳感器元件的夾持部。

2.根據權利要求1所述的應變傳感器，其中，

所述基板的所述一個面為矩形形狀，并且所述拉伸方向為所述一個面的長度方向。

3.根據權利要求1或2所述的應變傳感器，其中，

所述基板的厚度大于所述傳感器元件的厚度。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的應變傳感器，其中，

所述基板由絕緣材料形成。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的應變傳感器，其中，

在所述基板的所述一個面安裝有與所述傳感器元件的輸出線連接的第1端子以及覆蓋與所述輸出線連接的所述第1端子的端子罩。

6.根據權利要求4所述的應變傳感器，其中，

在所述端子罩的內部填充有樹脂。

7.根據權利要求5或6所述的應變傳感器，其中，

從所述拉伸方向的一側起，按所述夾持部、所述傳感器元件、所述端子罩以及所述夾持部的順序排列。

8.根據權利要求5～7中的任意一項所述的應變傳感器，其中，

該應變傳感器具有輸出電路，該輸出電路與所述傳感器元件的所述輸出線電連接，輸出與所述傳感器元件的輸出對應的信號。

9.根據權利要求8所述的應變傳感器，其中，

所述輸出電路是將所述傳感器元件的輸出放大并輸出的放大器電路。

10.根據權利要求8或9所述的應變傳感器，其中，

所述輸出電路設有所述第1端子，所述輸出電路安裝于所述基板的所述一個面。

11.一種拉伸特性測定方法，該拉伸特性測定方法針對權利要求1～10中的任意一項所述的應變傳感器，測定與所述傳感器元件的所述壓電膜的厚度方向垂直的方向的特性，在該拉伸特性測定方法中，

保持形成于所述基板的兩端部的所述夾持部，一邊改變沿長度方向拉伸所述基板的拉伸力的大小，一邊測量所述應變傳感器的輸出。