[發(fā)明專利]氟系溶劑含有物的純化方法和含氟系溶劑純化物

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980037745.6
• 申請(qǐng)日: 2019-07-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112236216A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 菅原充;太田圭祐;葉內(nèi)政信
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本瑞翁株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B01D61/14
• 分類號(hào): B01D61/14;B01D71/36;C07C23/08;C07C29/74;H01L21/304
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 楊衛(wèi)萍;劉繼富

本發(fā)明提供一種用于減少氟系溶劑含有物中包含的微粒的純化方法、以及微粒被減少了的含氟系溶劑純化物。氟系溶劑含有物的純化方法包含使用由包含氟原子的材料形成的過(guò)濾器過(guò)濾至少包含氟系溶劑的氟系溶劑含有物的過(guò)濾工序，過(guò)濾氟系溶劑含有物時(shí)的上述過(guò)濾器的單位有效過(guò)濾面積的通液速度小于0.2mL/分鐘·cm²。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氟系溶劑含有物的純化方法和含氟系溶劑純化物，特別涉及用于減少氟系溶劑含有物中的微粒的氟系溶劑含有物的純化方法和微粒被減少了的含氟系溶劑純化物。

背景技術(shù)

在進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備的制造、清洗時(shí)，使用減少了微粒等雜質(zhì)的有機(jī)溶劑。因此，作為用于除去有機(jī)溶劑中的金屬雜質(zhì)的裝置，專利文獻(xiàn)1中提出了具有包括過(guò)濾器的過(guò)濾單元和金屬吸附單元的有機(jī)溶劑的純化裝置。

此外，從降低環(huán)境負(fù)荷的觀點(diǎn)出發(fā)，將包含氟系溶劑的有機(jī)溶劑用于上述半導(dǎo)體設(shè)備的制造、清洗。而且，在專利文獻(xiàn)2中，提出了使用由不具有氟原子的材料形成的過(guò)濾器來(lái)過(guò)濾氟系溶劑的氟系溶劑的純化方法。根據(jù)該純化方法，能夠有效地除去氟系溶劑所包含的粒徑為200nm以上的微粒。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2016-73922號(hào)公報(bào)；

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2005-239615號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

然而，近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體設(shè)備的高密度化發(fā)展，關(guān)于在半導(dǎo)體設(shè)備的制造、清洗中使用的有機(jī)溶劑、特別是包含氟系溶劑的有機(jī)溶劑，在減少該有機(jī)溶劑中包含的微粒、特別是粒徑為100nm以下的微粒的方面，仍有改善的余地。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種氟系溶劑含有物的純化方法，其為至少包含氟系溶劑的氟系溶劑含有物的純化方法，可用于減少該氟系溶劑含有物中的微粒。

此外，本發(fā)明的目的在于提供一種微粒被減少了的含氟系溶劑純化物，其為至少包含氟系溶劑的含氟系溶劑純化物。

用于解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明人等為了實(shí)現(xiàn)上述目的進(jìn)行了深入研究。然后，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，為了有效地除去特別是粒徑為100nm以下的微粒，如果適當(dāng)?shù)厥褂糜砂拥牟牧闲纬傻倪^(guò)濾器、并且使用該過(guò)濾器在規(guī)定的條件下進(jìn)行過(guò)濾，則能夠有效地除去特別是粒徑為30nm以上且100nm以下的微粒，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明以有利地解決上述問(wèn)題為目的，本發(fā)明的氟系溶劑含有物的純化方法的特征在于，包含使用由包含氟原子的材料形成的過(guò)濾器過(guò)濾至少包含氟系溶劑的氟系溶劑含有物的過(guò)濾工序，過(guò)濾上述氟系溶劑含有物時(shí)的上述過(guò)濾器的單位有效過(guò)濾面積的通液速度小于0.2mL/分鐘·cm²。如果像這樣使用由包含氟原子的材料形成的過(guò)濾器在規(guī)定的條件下過(guò)濾至少包含氟系溶劑的氟系溶劑含有物，則可得到有效地減少了特別是粒徑為100nm以下的微粒的含氟系溶劑純化物。

另外，在本發(fā)明中，“過(guò)濾器的單位有效過(guò)濾面積的通液速度”能夠通過(guò)本說(shuō)明書的實(shí)施例記載的方法求出。

在此，在本發(fā)明的氟系溶劑含有物的純化方法中，上述過(guò)濾器的孔徑優(yōu)選為30nm以下。如果使用孔徑為30nm以下的過(guò)濾器，則能夠有效地除去氟系溶劑含有物中的粒徑超過(guò)30nm的微粒，因此能夠得到進(jìn)一步減少了微粒的含氟系溶劑純化物。

此外，在本發(fā)明的氟系溶劑含有物的純化方法中，上述氟系溶劑優(yōu)選包含選自氫氟醚類、氫氟氯烯烴(Hydrofluorochloroolefin)類及氫氟烴(Hydrofluorocarbon)類中的1種以上的氟系溶劑。如果包含選自上述中的1種以上作為氟系溶劑，則通過(guò)本發(fā)明的氟系溶劑含有物的純化方法能夠得到進(jìn)一步降低了環(huán)境負(fù)荷的含氟系溶劑純化物。