[發明專利]波長光束組合激光系統中的功率和光譜監測

在審

• 申請號: 201980034752.0
• 申請日: 2019-05-21
• 公開（公告）號: CN112219326A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 周望龍;B·洛奇曼;B·查安
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: H01S5/0683
• 分類號: H01S5/0683;H01S5/40;H01S3/10;G02B5/18;G02B27/10;B23K26/00
• 代理公司: 南京蘇創專利代理事務所(普通合伙) 32273
• 代理人: 常曉慧

1.一種波長光束組合(WBC)激光系統，包括：

多個光束發射器，每個光束發射器配置為發射具有不同波長的光束；

變換光學器件，用于將發射的光束的主光線會聚到衍射光柵；

衍射光柵，用于接收光束并通過入射在衍射光柵上的光束的衍射產生主一階衍射光束和輔助一階衍射光束；

部分反射的輸出耦合器，定位為用于接收主一階衍射光束，將主一階衍射光束的第一部分作為多波長輸出光束透射，以及將主一階衍射光束的第二部分反射回多個光束發射器；以及

定位成接收輔助一階衍射光束的第一檢測裝置，用于檢測來自輔助一階衍射光束的功率和/或光譜信息。

2.根據權利要求1所述的激光系統，進一步包括控制器，該控制器配置為從第一檢測裝置接收功率和/或光譜信息，以及至少部分地基于所述信息來控制多個光束發射器和/或主一階衍射光束。

3.根據權利要求2所述的激光系統，其中，所述控制器配置為至少部分地基于從第一檢測裝置接收的功率和/或光譜信息來控制提供給光束發射器中的一個或多個的功率和/或電流。

4.根據權利要求2所述的激光系統，其中，所述控制器配置為至少部分地基于從第一檢測裝置接收的功率和/或光譜信息控制以下所述的至少其中一個的位置和/或傾斜角：(i)光束發射器中的一個或多個，(ii)變換光學器件，(iii)衍射光柵或(iv)輸出耦合器。

5.根據權利要求1所述的激光系統，其中，(i)所述衍射光柵為透射衍射光柵，(ii)所述主一階衍射光束為一階透射，以及(iii)所述輔助一階衍射光束為一階反射。

6.根據權利要求1所述的激光系統，其中，(i)所述衍射光柵為反射衍射光柵，(ii)所述主一階衍射光束為一階反射，以及(iii)所述輔助一階衍射光束為一階透射。

7.根據權利要求1所述的激光系統，其中，所述衍射光柵通過入射光束的衍射產生零階透射和/或零階反射。

8.根據權利要求7所述的激光系統，進一步包括第二檢測裝置，用于檢測來自零階透射和/或零階反射的功率和/或光譜信息。

9.根據權利要求8所述的激光系統，其中，所述控制器配置為從第二檢測裝置接收功率和/或光譜信息，以及至少部分地基于所述信息來控制多個光束發射器和/或主一階衍射光束。

10.根據權利要求9所述的激光系統，其中，所述控制器配置為至少部分地基于從第二檢測裝置接收的功率和/或光譜信息來控制提供給光束發射器中的一個或多個的功率和/或電流。

11.根據權利要求10所述的激光系統，其中，所述控制器配置為至少部分地基于從第二檢測裝置接收的功率和/或光譜信息控制以下所述的至少其中一個的位置和/或傾斜角：(i)光束發射器中的一個或多個，(ii)變換光學器件，(iii)衍射光柵或(iv)輸出耦合器。

12.根據權利要求8所述的激光系統，其中，所述第二檢測裝置包括功率檢測器。

13.根據權利要求12所述的激光系統，其中，所述功率檢測器包括一個或多個光電二極管和/或一個或多個熱電堆。

14.根據權利要求12所述的激光系統，其中，所述第二檢測裝置進一步包括分光儀。

15.根據權利要求8所述的激光系統，其中，所述第二檢測裝置包括分光儀。

16.根據權利要求8所述的激光系統，其中，所述第二檢測裝置包括分束器，用于接收零階透射和/或零階反射并且將其部分提供給不同的輸出。