[發明專利]用于氣體流量驗證的多室變化率系統

在審

• 申請號: 201980033620.6
• 申請日: 2019-05-17
• 公開（公告）號: CN112136027A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 阿列克謝·V·斯米爾諾夫
• 申請（專利權）人: 日立金屬株式會社
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00;G05D7/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種多室變化率流量計系統，所述系統包括：

N個室的集合；

用于將氣體引入或引出所述N個室的集合的部件；

N個壓力傳感器，所述N個壓力傳感器中的各壓力傳感器耦接至所述N個室中的相應室；

用于在所述N個室之間再分配所述氣體的部件；以及

測量模塊，其耦接至所述壓力傳感器，以獲得由于所述氣體的再分配而引起的所述N個室中的各室內的壓力變化率，并且基于所述N個室中的各室內的壓力變化率來計算流入或流出所述N個室的集合的所述氣體的流量。

2.根據權利要求1所述的多室變化率流量計系統，其中，用于將氣體引入或引出所述N個室的集合的部件包括：

上游閥；

下游閥；以及

真空泵；以及

其中，所述測量模塊被配置為：

關閉所述上游閥，打開所述下游閥，并且利用所述真空泵來抽空所述N個室；以及

關閉所述下游閥并且打開所述上游閥以將所述氣體引入所述N個室的集合。

3.根據權利要求2所述的多室變化率流量計系統，還包括：

導流管道，其經由導流閥而耦接在所述N個室的集合的入口和所述N個室的集合的出口之間；

其中，所述測量模塊被配置為：

在所述上游閥關閉的同時打開所述導流閥，以允許氣體流過所述導流管道，從而在所述下游閥關閉之前產生非零流量；以及

與所述上游閥的打開相關聯地關閉所述導流閥，以將所述氣體引入所述N個室的集合。

4.根據權利要求3所述的多室變化率流量計系統，其中，所述導流閥和所述上游閥一體化為三通閥。

5.根據權利要求1所述的多室變化率流量計系統，其中，用于將氣體引入或引出所述N個室的集合的部件包括：

上游閥；

下游閥；以及

真空泵；以及

其中，所述測量模塊被配置為：

打開所述上游閥以按第一流量將所述氣體引入所述N個室的集合，打開所述下游閥，以利用所述真空泵按超過所述第一流量的第二流量將所述氣體引出所述N個室的集合，從而抽空所述N個室；以及

關閉所述下游閥以將所述氣體引入所述N個室的集合。

6.根據權利要求1所述的多室變化率流量計系統，還包括：

N個溫度傳感器，所述N個溫度傳感器中的各溫度傳感器耦接至所述N個室中的相應室；以及

其中，所述測量模塊耦接至所述溫度傳感器，以獲得所述N個室中的各室的溫度，并且基于所述N個室中的各室內的壓力變化率和所述N個室中的各室的溫度來計算流入或流出所述N個室的集合的所述氣體的流量。

7.根據權利要求1所述的多室變化率流量計系統，其中，用于在所述N個室之間再分配所述氣體的部件包括各室與另一室之間的導管。

8.根據權利要求7所述的多室變化率流量計系統，其中，所述導管包括一個或多個流量限制器。

9.根據權利要求1所述的多室變化率流量計系統，其中，用于將氣體引入或引出所述N個室的集合的部件包括：

上游閥；

下游閥；以及

氣體加壓器；以及

其中，所述測量模塊被配置為：

打開所述上游閥，關閉所述下游閥，并且利用所述氣體加壓器來對所述N個室的集合進行加壓；以及

打開所述下游閥并且關閉所述上游閥，以將所述氣體引出所述N個室的集合。

10.一種用于利用多室變化率流量計系統來測量氣體的流量的方法，所述方法包括：

將氣體引入或引出N個室的集合；

從N個壓力傳感器獲得讀數，所述N個壓力傳感器中的各壓力傳感器耦接至所述N個室中的相應室；

在所述N個室之間再分配所述氣體；以及

基于所述N個室中的各室內的壓力變化率來計算流入或流出所述N個室的集合的所述氣體的流量。