[發明專利]檢查設備的照射源、檢查設備和檢查方法

有效

• 申請號: 201980032783.2
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN112119355B
• 公開（公告）日: 2023-09-29
• 發明（設計）人: D·歐德威爾;P·W·斯摩奧倫堡;G·J·H·布魯斯阿德
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09;G01N21/95;G01N21/956;G01N21/88
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張啟程

1.一種照射源設備，適合用于量測設備中以表征襯底上的結構，所述照射源設備包括：

高次諧波產生(HHG)介質；

泵浦輻射源，所述泵浦輻射源能夠操作為發射泵浦輻射束；和

可調整的變換光學器件，所述可調整的變換光學器件被配置為可調整地變換所述泵浦輻射束的橫向空間輪廓以產生被變換的束，使得相對于所述被變換的束的中心軸線，所述被變換的束的中心區具有實質上為零的強度，而從所述被變換的束的所述中心軸線徑向向外的外部區具有非零的強度，

其中所述被變換的束被布置為激勵所述HHG介質以產生高次諧波輻射，

其中所述外部區的部位依賴于所述可調整的變換光學器件的調整設定；

其中所述被變換的束是具有內環半徑R₁和外環半徑R₂的經準直的環形束，并且

其中所述可調整的變換光學器件的所述調整設定被配置成獨立地調節所述內環半徑R₁和所述外環半徑R₂。

2.根據權利要求1所述的照射源設備，其中所述泵浦輻射源能夠操作為發射具有高斯橫向空間輪廓的泵浦輻射束，并且其中所述可調整的變換光學器件被配置為產生具有非高斯橫向空間輪廓的被變換的束。

3.根據權利要求1所述的照射源設備，其中所述泵浦輻射源能夠操作為發射具有高斯橫向空間輪廓的泵浦輻射束，并且其中所述可調整的變換光學器件被配置為產生具有環形橫向空間輪廓的被變換的束。

4.根據前述權利要求中任一項所述的照射源設備，還包括：聚焦元件，所述聚焦元件位于所述可調整的變換光學器件和所述HHG介質之間，所述聚焦元件被配置為將所述被變換的束聚焦到所述HHG介質中。

5.根據權利要求4所述的照射源設備，其中所述聚焦元件是透鏡。

6.根據權利要求4所述的照射源設備，其中所述聚焦元件的焦平面大體位于所述HHG介質中。

7.根據權利要求4所述的照射源設備，其中所述可調整的變換光學器件包括至少一個錐形光學元件或至少一個衍射光學元件。

8.根據權利要求7所述的照射源設備，其中，所述至少一個衍射光學元件或所述至少一個錐形光學元件是軸棱鏡元件。

9.根據權利要求5-7中任一項所述的照射源設備，其中所述可調整的變換光學器件包括由第一軸棱鏡元件和第二軸棱鏡元件構成的一對軸棱鏡元件，其中所述第一軸棱鏡元件相對于所述泵浦輻射束的傳播方向在所述第二軸棱鏡元件之前，并且其中所述第一軸棱鏡元件和所述第二軸棱鏡元件之間的軸向間隔控制所述可調整的變換光學器件的所述調整設定。

10.根據權利要求9所述的照射源設備，其中所述一對軸棱鏡元件由一個負軸棱鏡元件和一個正軸棱鏡元件構成。

11.根據權利要求9所述的照射源設備，其中，所述軸棱鏡元件中的至少一個軸棱鏡元件是反射軸棱鏡元件。

12.根據權利要求10或11所述的照射源設備，其中，所述第一軸棱鏡元件是負反射軸棱鏡，所述負反射軸棱鏡被布置在所述泵浦輻射束的所述中心軸線上且被配置為朝向所述第二軸棱鏡元件反射所述泵浦輻射束，所述第二軸棱鏡元件是被配置為準直束以由此產生所述被變換的束的環形正反射軸棱鏡。

13.根據權利要求9所述的照射源設備，其中所述軸棱鏡元件中的至少一個軸棱鏡元件是折射軸棱鏡元件。