[發明專利]用于具有傾斜的光學窗的微機械設備的制造方法和相應的微機械設備

在審

• 申請號: 201980031200.4
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN112105580A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: B·施托伊爾;S·平特
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于具有傾斜的光學窗的微機械設備的制造方法，該制造方法具有以下步驟：

提供具有前側(VS)和后側(RS)的第一襯底(S1)；

在所述第一襯底(S1)中形成多個間隔開的通孔(F1、F2)，所述通孔沿著多個間隔開的列(R1、R2)布置在所述第一襯底(S1)中；

沿著所述列(R1、R2)中的每一列形成相應的連續的斜的槽(N1、N2)，所述槽確定用于傾斜的光學窗(G1、G2)的支座；并且

將所述光學窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其中，相鄰的槽(N1、N2)沿相反的方向傾斜。

3.根據權利要求1或2所述的制造方法，其中，所述光學窗(G1、G2)沿著所述光學窗的整個周邊嚴密密封地接合。

4.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)以機械磨削過程形成。

5.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，在形成所述槽(N1、N2)之后將第二襯底(S2)鍵合到所述前側(VS)上，其中，在所述第二襯底(S2)中形成用于裝入所述光學窗(G1、G2)的裝入開口(D1、D2)。

6.根據權利要求5所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)和所述第二襯底(S2)這樣構型，使得所述光學窗(G1、G2)完全沉降在所述第二襯底(S2)中。

7.根據權利要求5或6所述的制造方法，其中，所述裝入開口(D1、D2)構造為用于所述光學窗(G1、G2)的側面導向部。

8.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，所述光學窗(G1、G2)為了接合在邊緣上環繞地設有玻璃焊劑，然后通過取放過程裝入到所述槽(N1、N2)中，然后在裝入狀態中以熱的方式在所述玻璃焊劑軟化的情況下嚴密密封地接合。

9.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，所述第一襯底和/或第二(S1、S2)是晶片襯底、尤其是玻璃晶片襯底、硅晶片襯底、陶瓷晶片襯底、金屬晶片襯底或塑料晶片襯底。

10.具有傾斜的光學窗的微機械設備，具有：

帶前側(VS)和后側(RS)的第一襯底(S1)；

在所述第一襯底(S1)中的多個間隔開的通孔(F1、F2)，所述通孔沿著多個間隔開的列(R1、R2)布置在所述第一襯底(S1)中；

沿著所述列(R1、R2)中的每一列的相應連續的斜的槽(N1、N2)，所述槽確定用于所述傾斜的光學窗(G1、G2)的支座；

多個光學窗(G1、G2)，所述光學窗在所述通孔(F1、F2)上方嚴密密封地接合到所述槽(N1、N2)中。

11.根據權利要求10所述的具有傾斜的光學窗的微機械設備，其中，相鄰的槽(N1、N2)以相反的方向傾斜。

12.根據權利要求10或11所述的具有傾斜的光學窗的微機械設備，其中，所述光學窗(G1、G2)沿著所述光學窗的整個周邊嚴密密封地接合。

13.根據權利要求10至12中任一項所述的具有傾斜的光學窗的微機械設備，其中，第二襯底(S2)鍵合到所述前側(VS)上，其中，在所述第二襯底(S2)中形成用于裝入所述光學窗(G1、G2)的裝入開口(D1、D2)。

14.根據權利要求10至13中任一項所述的具有傾斜的光學窗的微機械設備，其中，所述槽(N1、N2)和所述第二襯底(S2)構型成，使得所述光學窗(G1、G2)完全沉降在所述第二襯底(S2)中。

15.根據權利要求10至14中任一項所述的具有傾斜的光學窗的微機械設備，其中，所述裝入開口(D1、D2)構造為用于所述光學窗(G1、G2)的側面導向部。