[發明專利]用于太陽能電池串接的激光輔助金屬化工藝

在審

• 申請號: 201980030792.8
• 申請日: 2019-04-05
• 公開（公告）號: CN112119508A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 呂珮玄;本杰明·I·夏;戴維·阿龍·倫道夫·巴爾克豪澤;劉易斯·C·阿布拉;喬治·G·科雷奧斯;馬爾科·魯濱遜;保羅·W·洛斯科托夫;瑞恩·里根;大衛·大川;塔米爾·蘭斯;蒂埃里·恩古延
• 申請（專利權）人: 太陽能公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/05;H01L31/02;H01L31/072
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 顧欣;佟澤宇

本發明描述了使用激光束對半導體基板進行的金屬化以及所得的結構，例如微電子裝置、半導體基板和/或太陽能電池、太陽能電池電路、太陽能電池串和太陽能電池陣列。太陽能電池串可包括多個太陽能電池。所述多個太陽能電池可包括基板以及設置在所述基板之中或之上的多個半導體區。多個導電接觸結構電連接至所述多個半導體區。每個導電接觸結構均包括局部沉積的金屬部分，所述局部沉積的金屬部分設置為與所述半導體區中的對應一者接觸。

相關申請的交叉引用

本專利申請要求早前于2018年11月29日提交的美國臨時專利申請系列第62/773,172號、于2018年11月29日提交的美國臨時專利申請系列第62/773,168號、于2018年11月29日提交的美國臨時專利申請系列第62/773,148號以及于2018年4月6日提交的美國臨時專利申請系列第62/654,198號的優先權和權益，這些臨時專利申請中的每篇全文據此以引用方式并入本文。本專利申請還要求早前于2019年4月5日提交的名稱為“LocalMetallization for Semiconductor Substrates using a Laser Beam”(使用激光束對半導體基板進行局部金屬化)的美國臨時專利申請系列第16/376,802號(代理人案卷號131815-244461_P270，SunPower參考編號S2040US)的優先權和權益，其據此全文以引用方式并入本文。

技術領域

本公開的實施例屬于可再生能源或半導體加工領域，并且特別地包括使用激光束對半導體基板的金屬化以及所得的結構。

背景技術

光伏電池(常稱為太陽能電池)是熟知的用于將太陽輻射直接轉換為電能的裝置。一般來講，使用半導體加工技術在基板的表面附近形成p-n結，從而在半導體晶片或基板上制造太陽能電池。照射在基板表面上并進入基板內的太陽輻射在基板塊體中形成電子和空穴對。所述電子和空穴對遷移至基板中的p摻雜區和n摻雜區，從而在摻雜區之間產生電壓差。將摻雜區連接至太陽能電池上的導電區，以將電流從電池引導至與其耦接的外部電路。

電轉換效率是太陽能電池的重要特性，因其直接與太陽能電池的發電能力有關；更高的效率為最終客戶提供了附加價值；并且在其他所有條件相同的情況下，更高的效率也降低了每瓦特的制造成本。同樣，簡化的制造方法提供了通過降低生產單位成本來降低制造成本的機會。因此，提高太陽能電池效率的技術和簡化太陽能電池的制造的技術是普遍需要的。

附圖說明

圖1A至圖1F示出制造太陽能電池串的方法中的操作的側視圖。

圖2示出了用于構造太陽能電池的示例性工作流程。

圖3A和圖3B示出制造太陽能電池串的方法中的操作的側視圖。

圖4示出制造太陽能電池串的方法中的操作的側視圖。

圖5示出多太陽能電池串的側視圖。

圖6示出太陽能電池串的操作的側視圖。

圖7示出太陽能電池串的操作的側視圖。

圖8A和圖8B示出制造太陽能電池串的方法中的操作的側視圖。

圖9示出多太陽能電池串的側視圖。

圖10A和圖10B示出制造太陽能電池串的方法中的操作的側視圖。

圖11示出制造太陽能電池串的方法的側視圖。

圖12示出制造太陽能電池串的方法的側視圖。

圖13為太陽能電池串的平面圖。

圖14A至圖14D示出制造太陽能電池的方法中的各種操作的剖視圖。

圖15A至圖15C示出太陽能電池的剖視圖。