[發(fā)明專利]腐蝕環(huán)境監(jiān)測方法及腐蝕環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980029311.1
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN112543865A
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 南谷林太郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G01N17/04
• 分類號: G01N17/04
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

本發(fā)明提供一種腐蝕環(huán)境監(jiān)測方法，在成為評價對象的電氣電子裝置的設(shè)備框體的內(nèi)部狹小的場所內(nèi)，不需要商用電源、蓄電池等的電源，能夠從短期到長期地識別腐蝕性氣體的種類。本發(fā)明的腐蝕環(huán)境監(jiān)測方法使用腐蝕傳感器，透過透明基板觀測金屬薄膜的變色程度，根據(jù)預(yù)先觀測到的金屬薄膜的變色程度與腐蝕性氣體的種類的關(guān)系，識別腐蝕性氣體的種類，所述腐蝕傳感器具有一端被封閉、另一端為開口部的通路結(jié)構(gòu)，由透明基板形成相對于開口部的上下表面或左右表面的一部分表面，在透明基板上，且在與從開口部流入的腐蝕性氣體接觸的表面上形成有金屬薄膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種腐蝕環(huán)境監(jiān)測方法及腐蝕環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

電氣電子裝置為了使自身穩(wěn)定地工作，要求長期的可靠性。另外，為了高速化、省空間化，采用高密度安裝結(jié)構(gòu)，搭載有很多由微細(xì)布線結(jié)構(gòu)、薄膜電鍍結(jié)構(gòu)構(gòu)成的電氣電子部件。由于微小的腐蝕損傷使電氣特性或磁特性變動會成為這些電氣電子部件故障、誤動作的原因，所以抑制該腐蝕損傷被列舉為維持提高電氣電子裝置的可靠性的課題。

作為電氣電子部件的腐蝕的主要原因之一，可以列舉出腐蝕性氣體。作為其發(fā)生源，有由化石燃料的燃燒引起的SO₂、由來自汽車的廢氣引起的NO₂、由生活排水、廢棄物產(chǎn)生的H₂S、以及由作為電氣電子裝置的構(gòu)成構(gòu)件的橡膠、瓦楞紙板等產(chǎn)生的S₈。

在含有這樣的腐蝕性氣體的環(huán)境中，有可能引起電氣電子部件的腐蝕損傷，使搭載有該電氣電子部件的電氣電子裝置的可靠性降低。近年來，報告了起因于H₂S或S₈等的還原性硫，發(fā)生芯片部件的銀電極、印刷布線基板的銅布線的腐蝕損壞的情況(ASHRAE(美國采暖制冷空調(diào)學(xué)會)TC9.9，2011Gaseous and P1articulate Contamination GuidelinesFor Data Centers)。

設(shè)置在這種腐蝕性高的環(huán)境中的電氣電子裝置需要將與環(huán)境的腐蝕性的程度相應(yīng)的防腐蝕對策反映到設(shè)計、維護(hù)中。因此，要求確定設(shè)置電氣電子裝置的環(huán)境的腐蝕性氣體的種類，在短期間內(nèi)簡單且高精度地評價環(huán)境的腐蝕性。

另外，由于要求電氣電子裝置省空間化，所以要求評價環(huán)境的腐蝕性的裝置也小型輕量。

對此，作為評價設(shè)置電氣電子裝置的環(huán)境的腐蝕性的方法，在ISO11844-1標(biāo)準(zhǔn)中，使用評價暴露一定期間的銅、銀、鋁、鐵、鋅的腐蝕程度的方法。已知銅、銀、鋁、鐵、鋅的影響程度不同，但即使在SO₂、NO₂、H₂S中的任一種腐蝕性氣體中都會腐蝕。在該ISO11844-1標(biāo)準(zhǔn)中，用重量法對暴露1年的金屬的腐蝕程度、或者用電化學(xué)測定法對暴露的金屬的腐蝕生成物進(jìn)行定量化。

進(jìn)而，作為本技術(shù)領(lǐng)域的背景技術(shù)，有日本專利第5798955號公報(專利文獻(xiàn)1)。在該公報中，記載了一種腐蝕環(huán)境監(jiān)測裝置，其特征在于，具備腐蝕環(huán)境監(jiān)測裝置，該腐蝕環(huán)境監(jiān)測裝置由具有一個開口部的通路結(jié)構(gòu)和形成在透明基板上的金屬薄膜構(gòu)成，其中，所述透明基板形成與來自開口部的腐蝕性物質(zhì)的擴(kuò)散方向平行的通路結(jié)構(gòu)的一部分的壁面，腐蝕環(huán)境監(jiān)測裝置能夠通過透明基板測定因在規(guī)定期間內(nèi)放置在被測定環(huán)境中的金屬薄膜的腐蝕生成物而變化的色調(diào)的區(qū)域的形狀尺寸，腐蝕環(huán)境監(jiān)測裝置的金屬薄膜由規(guī)定的材料構(gòu)成。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5798955號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題