[發(fā)明專利]用于密封MEMS傳感器組件中的兩個填充以不同流體的室的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980028265.3
• 申請日: 2019-04-15
• 公開（公告）號: CN112041597B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: W·韋特曼-德爾金;E·施特拉特曼;M·穆奇勒
• 申請（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: F16J15/02
• 分類號: F16J15/02;F16J15/06;F16L55/13;G01L19/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于密封MEMS傳感器組件中的填充以流體的室(2)的密封設(shè)備(1)，包括密封裝置(4)，其中，所述密封裝置(4)包括通道(5)，該通道與所述室(2)連接，其中，在所述通道(5)中布置有用于密封所述通道(5)的密封元件(6)，使得所述通道(5)和/或所述密封元件(6)構(gòu)造成使得所述密封元件(6)通過機(jī)械夾緊密封地固定在所述通道(5)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封設(shè)備，其中，所述通道(5)和所述密封元件(6)構(gòu)造成，使得所述密封元件(6)通過至少部分的形狀鎖合密封地布置所述通道(5)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封設(shè)備，其中，所述通道(5)的壁厚(5’)確定成用于形成所述至少部分的形狀鎖合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的密封設(shè)備，其中，所述密封元件(6)具有小于所述通道(5)的至少相鄰于所述密封元件(5)的區(qū)段(5a)的彈性。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的密封設(shè)備，其中，所述密封元件(6)由金屬、尤其是鋼制造，和/或，所述通道(5)由塑料制造。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的密封設(shè)備，其中，所述通道(5)在相鄰于所述密封元件的區(qū)域(5’)中具有用于部分地接收所述密封元件(6)的凹部(7)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的密封設(shè)備，其中，所述密封元件(6)呈球的形式構(gòu)造并且所述通道(5)具有基本上圓形的橫截面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的密封設(shè)備，其中，所述密封裝置(4)具有適配于所述密封元件(6)的導(dǎo)入斜邊，該導(dǎo)入斜邊尤其漏斗形地構(gòu)造。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的密封設(shè)備，其中，所述球(6)的直徑(10)大于所述通道(5)的直徑(11)。

10.壓力傳感器(100)，尤其使用在空調(diào)或類似設(shè)施中，優(yōu)選使用在車輛中，所述壓力傳感器包括傳感器元件(101)，該傳感器元件布置在室(2)中并且由流體(102)至少部分地圍繞，其中，所述室(2)借助于密封裝置(4)密封，其中，所述密封裝置(4)包括通道(5)，該通道與所述室(2)連接，其中，在所述通道(5)中布置有用于密封所述通道(5)的密封元件(6)，使得所述通道(5)和/或所述密封元件(6)構(gòu)造成，使得所述密封元件(6)通過機(jī)械夾緊密封地固定在所述通道(5)中。

11.用于密封MEMS傳感器組件中的兩個填充以不同流體的室的方法，所述方法包括以下步驟：

-提供(S1)與閉合的室(2)的流體連接(5)，

-將密封裝置(4)布置(S2)在所述流體連接(5)中，其中，所述密封裝置(4)包括通道(5)，該通道與所述室(2)連接，并且

-將密封元件(6)導(dǎo)入(S3)到所述通道(5)中，

-通過機(jī)械夾緊將所述密封元件(6)固定(S4)在所述通道(5)中以用于密封所述通道(5)。