[發明專利]電聲濾波器、復用器和制造電聲濾波器的方法

在審

• 申請號: 201980027686.4
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN112042119A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: M·納普;F·庫巴特
• 申請（專利權）人: RF360歐洲有限責任公司
• 主分類號: H03H3/04
• 分類號: H03H3/04;H03H3/10;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/70;H03H9/72
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 張曦

1.一種電聲濾波器，包括：

-第一諧振器，被實現在第一層堆疊中，

-第二諧振器，被實現在第二層堆疊中，

其中：

-所述第二層堆疊與所述第一層堆疊不同在于：從層的數目、層的厚度和層的材料中選擇的至少一個參數。

2.根據前一權利要求所述的電聲濾波器，其中所述第一諧振器和所述第二諧振器是：

-SAW諧振器，包括在電極層中的電極結構，或者

-BAW諧振器，包括在底部電極層中的底部電極、在所述底部電極層上方的頂部電極層中的頂部電極、以及在所述底部電極層下方的腔體或聲鏡。

3.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，其中：

-所述濾波器具有梯型狀拓撲，

-所述第一諧振器是串聯諧振器，并且

-所述第二諧振器是并聯諧振器。

4.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，其中所述第一層堆疊和所述第二層堆疊包括從壓電層、TCF層、修整層、鈍化層中選擇的層。

5.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，其中所述第一諧振器和所述第二諧振器被聲學地去耦。

6.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，包括在所述第一諧振器與所述第二諧振器之間的溝槽。

7.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，其中所述第一諧振器和所述第二諧振器被布置在共同載體上。

8.根據前述權利要求中的一項所述的電聲濾波器，其中所述第一層堆疊和/或所述第二層堆疊具有壓電材料，所述壓電材料被提供作為薄層或作為塊狀材料。

9.一種復用器，包括前述權利要求中的一項的電聲濾波器，其中：

-所述濾波器具有TX子濾波器和RX子濾波器，

-所述第一諧振器在所述TX子濾波器中，并且所述第二諧振器在所述RX子濾波器中。

10.根據前一權利要求所述的復用器，所述復用器是雙工器、四工器或更高階的復用器。

11.一種制造電聲濾波器的方法，包括以下的步驟：

-提供用于第一諧振器的第一層堆疊，

-提供用于第二諧振器的第二層堆疊，

-將以下去耦：

·所述第一層堆疊與所述第二層堆疊，或者

·用于提供所述第一層堆疊的至少一個處理步驟與用于提供所述第二層堆疊的處理步驟。