[發明專利]使用聚輪烷的氨基甲酸酯樹脂以及拋光墊

有效

• 申請號: 201980025140.5
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN111954691B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 清水康智;川崎剛美;戶知光喜
• 申請（專利權）人: 株式會社德山
• 主分類號: C08G18/64
• 分類號: C08G18/64;C08G18/10;B24B37/24;C08J5/14
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 吳宗頤

本發明涉及一種氨基甲酸酯樹脂，其是通過使至少含有以下成分的聚合性組合物反應而得到的：分子內具有2個含活性氫基團的含2官能活性氫化合物(C1)與分子內具有2個異(硫)氰酸酯基的含2官能異(硫)氰酸酯基化合物(B1)反應而得到的、分子末端具有異(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯預聚物(B2)；具有由軸分子和包合該軸分子的多個環狀分子形成的復合分子結構、且在該環狀分子的至少一部分中引入具有含活性氫基團的側鏈的聚輪烷(A)；以及，所述聚輪烷(A)以外的、分子內具有3個以上含活性氫基團的含多官能活性氫化合物(C2)。根據本發明，能夠提供耐磨性高的滑動部件用的氨基甲酸酯樹脂，其可適合用作拋光墊。

技術領域

本發明涉及新的氨基甲酸酯樹脂。具體地，涉及聚合特定的聚合性單體成分而得到的新的氨基甲酸酯樹脂、以及含有該氨基甲酸酯樹脂的新的拋光墊。

背景技術

拋光用部件是指通過拋光劑使對方的部件平坦化時使用的部件。具體地，該拋光用部件是指在將被拋光部件的表面平坦化時，一邊將漿料等拋光劑供給至該表面，一邊使拋光劑滑動地與該表面接觸而使用的部件。例如，包括拋光墊。

在這樣的拋光用部件中，大多使用聚氨酯樹脂。一般地，作為拋光用部件，從降低成本、穩定制造和提高生產率的觀點考慮，總是期望長期耐磨耗良好的耐久性高的材料。

拋光用部件具體地用作CMP(化學機械拋光)法中的墊材(以下，有時稱為拋光墊)。CMP法是賦予優異的表面平坦性的拋光方法，特別是可以在液晶顯示器(LCD)、硬盤用玻璃基盤、硅晶片、半導體器件的制造工藝中采用。

在上述CMP法中，通常，一般采用在拋光加工時供給使磨粒分散在堿性溶液或酸性溶液中而成的漿料(拋光液)來拋光的方式。即，被拋光物通過漿料中的磨粒的機械作用和堿性溶液或酸性溶液的化學作用而平坦化。通常，通過將該漿料供給至被拋光物的表面，一邊滑動拋光墊材一邊使該漿料與該被拋光物的表面接觸，由此使該拋光物的表面平坦化。

作為上述CMP法中的拋光墊的拋光特性，要求被拋光物的平坦性優異，拋光速率(拋光速度)大。進而，為了提高生產率，期望提高耐磨性。

作為這樣的拋光墊的材質，已知有由氨基甲酸酯固化性組合物得到的拋光材料，所述氨基甲酸酯固化性組合物包含：含有使多元醇和甲苯二異氰酸酯這樣的多異氰酸酯反應而得到的氨基甲酸酯預聚物的主劑、和含有胺化合物的固化劑(參照專利文獻1)。進而，作為可進一步提高耐磨性的材料，已知有使用對苯二異氰酸酯作為多異氰酸酯化合物的拋光材料(參照專利文獻2)。

但是，這些方法中記載的拋光材料中的多元醇化合物為二醇化合物，在得到的氨基甲酸酯樹脂中不存在交聯結構，因而為了應對近年來的高度的耐磨性的要求，還有改善的余地。

另一方面，近年來，作為新結構的聚合物，推薦開發聚輪烷。該聚輪烷是具有由軸分子和包合該軸分子的多個環狀分子形成的復合分子結構的功能性材料。作為具體的開發例，例如可舉出用于磨耗部分的、成為滑動性優異的部件的聚輪烷(例如，參照專利文獻3)。

但是，認為專利文獻3中記載的含有聚輪烷的材料主要以用于運動用品、建筑材料或醫療材料為目的，但從滿足高度的耐磨性的觀點考慮，尚存在改善的余地。

另外，除此以外，使用聚輪烷，研究了以下這樣的樹脂。例如，已知有含有聚輪烷和熱塑性聚氨酯的熱塑性樹脂(參照專利文獻4)。該專利文獻4中記載的熱塑性樹脂通過含有聚輪烷，提高了熱塑性聚氨酯樹脂的機械特性，但僅僅是簡單地混合該聚輪烷和熱塑性聚氨酯，從滿足高度的耐磨性的觀點考慮，尚存在改善的余地。

對此，還進行了將聚輪烷本身攝入聚氨酯分子內來改善該聚氨酯的機械特性的方法(例如，參照專利文獻5～9)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-77207號公報