[發明專利]用于光閘碟盤組件檢測的方法及設備

在審

• 申請號: 201980023255.0
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN111919287A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: C-H·蔡;A·朱普迪;E·朝比奈;S·巴布
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/02;H01L21/67;C23C14/22
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

1.一種檢測處理腔室中的光閘碟盤組件的方法，包括：

接收來自位于所述處理腔室的光閘殼體中的第一傳感器的第一傳感器檢測信息，所述第一傳感器定位成檢測光閘臂；

接收來自位于所述處理腔室的所述光閘殼體中的第二傳感器的第二傳感器檢測信息，所述第二傳感器定位成檢測光閘碟盤；

接收來自位于所述處理腔室的所述光閘殼體中的第三傳感器的第三傳感器檢測信息，所述第三傳感器定位成檢測所述光閘碟盤；

從處理控制器接收處理信息；

至少部分地基于所述第一傳感器檢測信息、所述第二傳感器檢測信息、所述第三傳感器檢測信息、和所述處理信息中的至少一個來確定所述光閘碟盤組件的操作狀態；以及

如果需要，則基于所述光閘碟盤組件的所述操作狀態改變所述處理腔室的至少一個處理。

2.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

通過執行所述光閘碟盤組件的校準來改變所述處理腔室的至少一個處理，或通過重新定位所述光閘臂來改變所述處理腔室的至少一個處理。

3.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示無堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘碟盤組件時，確定所述操作狀態為沒有錯誤。

4.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示無堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘碟盤組件時，確定所述操作狀態為錯誤。

5.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示無堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示無堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘碟盤組件時，確定所述操作狀態為錯誤。

6.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示無堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘碟盤組件時，確定所述操作狀態為沒有錯誤。

7.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示無堵塞或堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘臂時，確定所述操作狀態為錯誤。

8.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示無堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示無堵塞、并且所述處理信息指示存儲了光閘臂時，確定所述操作狀態為沒有錯誤。

9.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述第一傳感器檢測信息指示無堵塞、所述第二傳感器檢測信息指示無堵塞、所述第三傳感器檢測信息指示堵塞、并且所述處理信息指示光閘碟盤組件空閑超時時，確定所述操作狀態為錯誤。