[發明專利]含有不飽和基的堿可溶性樹脂、以其作為必須成分的感光性樹脂組合物及其硬化物

在審

• 申請號: 201980020737.0
• 申請日: 2019-03-25
• 公開（公告）號: CN111886274A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 滑川崇平;高野正臣
• 申請（專利權）人: 日鐵化學材料株式會社
• 主分類號: C08G59/17
• 分類號: C08G59/17;C08F290/06;G03F7/027;G03F7/032
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

一種堿可溶性樹脂，由一般式(1)表示，且在1分子內具有羧基及聚合性不飽和基，以及一種感光性樹脂組合物，含有(i)一般式(1)的堿可溶性樹脂、(ii)具有至少一個聚合性不飽和基的光聚合性單體、(iii)光聚合引發劑及任意添加的(iv)環氧化合物。

技術領域

本發明涉及一種含有不飽和基的堿可溶性樹脂、以其作為必須成分的感光性樹脂組合物及將其硬化而成的硬化物。本發明的感光性樹脂組合物及其硬化物能夠適用于用于電路基板制作的阻焊劑、抗鍍劑、抗蝕劑、或搭載半導體元件的配線基板的多層化用的絕緣膜、半導體的柵極絕緣膜、感光性接著劑等。

背景技術

伴隨近年的電子設備或顯示構件等的高性能化、高精細化，對其中使用的電子零件要求小型化或高密度化。并且，對這些中使用的絕緣材料的加工性也要求微細化及加工的圖案的剖面形狀的合理化。作為絕緣材料的微細加工的有效手段，已知通過曝光、顯影來進行圖案化的方法，其中使用了感光性樹脂組合物，而要求高感度化、對基板的密接性、可靠性、耐熱性、耐化學品性等許多特性。而且，也進行了在有機薄膜晶體管(thin filmtransistor，TFT)用的柵極絕緣膜中使用有機絕緣材料的各種研究，但有將柵極絕緣膜薄膜化來降低有機TFT的動作電壓的必要性。此處，在為絕緣材料的絕緣耐壓為1MV/cm左右的有機絕緣材料的情況下，研究了絕緣膜的膜厚為0.2μm左右的薄膜的適用。

之前的包含感光性樹脂組合物的絕緣材料是利用由具有光反應性的堿可溶性樹脂與光聚合引發劑的反應引起的光硬化反應，并且作為用以進行光硬化的曝光波長，主要使用水銀燈的線光譜之一即i射線(365nm)。但是，此i射線會被感光性樹脂其自身或著色劑吸收，而會發生光硬化度的下降。而且，若為厚膜，則其吸收量會增大。因此，經曝光的部分在相對于膜厚方向而言的交聯密度中產生差異。由此，即便在涂膜表面充分地進行了光硬化，在涂膜底面也難以光硬化，因此明顯難以使曝光部分與未曝光部分產生交聯密度的差異。由此，難以獲得能夠以具有期望的圖案尺寸穩定性、顯影裕度(margin)、圖案密接性、圖案的邊緣(edge)形狀及剖面形狀的高分辨率來顯影的感光性絕緣材料。

一般而言，在此種用途的感光性樹脂組合物中是使用包含具有聚合性不飽和鍵的多官能光硬化性單體、堿可溶性的粘合劑樹脂、光聚合引發劑等的感光性樹脂組合物，可適用作為彩色濾光片用材料的形式的應用而技術公開的感光性樹脂組合物。例如，在專利文獻1及專利文獻2中，作為粘合劑樹脂而公開了具有羧基的(甲基)丙烯酸或(甲基)丙烯酸酯、馬來酸酐與其他聚合性單體的共聚物。而且，在專利文獻3中，公開了在1分子中具有聚合性不飽和基及羧基的堿可溶性不飽和化合物對于彩色濾光片等負型圖案形成是有效的。

另一方面，在專利文獻4、專利文獻5、專利文獻6及專利文獻7中公開了使用有具有雙酚芴結構的環氧(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應產物的液狀樹脂。

進而，在專利文獻8中公開了使含有羧基的共聚物的分子量增加的堿可溶性樹脂組合物的多官能化。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開昭61-213213號公報

專利文獻2：日本專利特開平1-152449號公報

專利文獻3：日本專利特開平4-340965號公報

專利文獻4：日本專利特開平4-345673號公報

專利文獻5：日本專利特開平4-345608號公報

專利文獻6：日本專利特開平4-355450號公報

專利文獻7：日本專利特開平4-363311號公報

專利文獻8：日本專利特開平9-325494號公報

發明內容

發明所要解決的問題