[發(fā)明專利]用于制造硅鐘表部件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980020156.7
• 申請(qǐng)日: 2019-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN111868637B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西爾萬(wàn)·讓納雷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 百達(dá)翡麗日內(nèi)瓦公司
• 主分類號(hào): G04B17/06
• 分類號(hào): G04B17/06;G04B17/22
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 趙赫;李新娜

1.一種制造鐘表部件的方法，包括以下步驟：

a）提供襯底（1），所述襯底（1）包括第一硅層（2）、第二硅層（3）以及在所述第一硅層（2）和所述第二硅層（3）之間的中間氧化硅層（4），

b）蝕刻所述第一硅層（2）以在其中形成所述鐘表部件，

c）從所述襯底（1）釋放至少由經(jīng)蝕刻的所述第一硅層（2）的全部或部分形成的、并包括所述鐘表部件的晶圓（8），

d）對(duì)所述鐘表部件進(jìn)行熱氧化然后脫氧，

e）在所述鐘表部件上通過熱氧化或沉積來(lái)形成氧化硅層（10），以及

f）從所述晶圓（8）上分離所述鐘表部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟c）包括氣相蝕刻所述中間氧化硅層（4）的操作。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在步驟c）中釋放的所述晶圓（8）由經(jīng)蝕刻的所述第一硅層（2）的一部分形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在步驟b）中，在所述第一硅層（2）中蝕刻凹槽，以限定在步驟c）中待釋放的所述晶圓（8）的外圍邊緣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在步驟b）中，在蝕刻所述鐘表部件（18）的中央?yún)^(qū)域（17）周圍的所述第一硅層（2）中蝕刻開口（16），所述開口（16）允許用于在步驟c）期間蝕刻所述中間氧化硅層（4）的蝕刻劑通過。

6.一種制造鐘表部件的方法，包括以下步驟：

a）提供包括與氧化硅層交錯(cuò)排列的硅層的襯底（20），

b）蝕刻所述襯底的一組層以在其中形成所述鐘表部件，

c）從所述襯底上釋放至少由一組層的全部或部分形成的、并包括所述鐘表部件的晶圓，

d）對(duì)所述鐘表部件進(jìn)行熱氧化然后脫氧，

e）在所述鐘表部件上通過熱氧化或沉積來(lái)形成氧化硅層，以及

f）從所述晶圓上分離所述鐘表部件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的方法，其中步驟b）中的蝕刻包括深反應(yīng)離子蝕刻。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的方法，其中在步驟d）和步驟e）之間包括附加步驟，所述附加步驟包括對(duì)所述鐘表部件進(jìn)行熱氧化然后脫氧。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的方法，其中在所述熱氧化操作期間，所述晶圓（8）由支撐構(gòu)件支撐，所述支撐構(gòu)件包括支撐板（11）、以及由所述支撐板（11）承載的墊片（12）和保持元件（13），所述墊片（12）保持所述晶圓（8）和所述支撐板（11）之間的間隙，所述保持元件（13）防止晶圓（8）水平移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的方法，其中所述鐘表部件包括以下類型部件中的至少一種：游絲、擒縱叉、輪、指針、搖桿、杠桿、彈簧、擺輪。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟d）用于改善所述鐘表部件的表面光潔度，并且所述附加步驟用于調(diào)整構(gòu)成所述鐘表部件的游絲的剛度。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述附加步驟的熱氧化操作期間，所述晶圓（8）相對(duì)于步驟d）的熱氧化操作處于反向位置。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在步驟e）期間，所述晶圓（8）相對(duì)于所述附加步驟的熱氧化操作處于反向位置。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述墊片（12）在所述晶圓（8）的不包括任何鐘表部件的區(qū)域支撐所述晶圓（8）。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述支撐板（11）由硅、石英或碳化硅制成。

16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述墊片（12）和所述保持元件（13）由石英或碳化硅制成。