[發明專利]具有卸壓閥的真空泵

有效

• 申請號: 201980018247.7
• 申請日: 2019-03-08
• 公開（公告）號: CN111801498B
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: M·R·維克斯;N·特納;A·E·K·霍爾布魯克;S·凱拉薩姆
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04C18/12
• 分類號: F04C18/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 董均華;劉茜

1.真空泵，包括：

至少兩個轉子，每個包括至少一個葉片，所述至少兩個轉子被安裝在定子內；

所述葉片中的至少一個包括慣性卸壓閥，所述慣性卸壓閥包括：

主體，被安裝以在關閉位置與打開位置之間移動，在所述關閉位置中，所述主體阻塞所述轉子的前側與后側之間的流體流動通道，在所述打開位置中，所述流體流動通道不被阻塞；其中，

所述主體被配置成響應于由所述轉子的旋轉速度的變化觸發而作用在所述主體上的力的變化而在所述打開位置與關閉位置之間移動；

所述主體被安裝，使得所述轉子的減速提供了遠離所述關閉位置偏置所述主體的力，并且所述轉子的加速提供了朝向所述關閉位置偏置所述主體的力。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其中，所述流體流動通道包括轉子尖端與所述定子之間的通路，所述主體包括所述轉子尖端的至少部分。

3.根據權利要求1所述的真空泵，其中，所述流體流動通道包括通過所述葉片的通路。

4.根據權利要求3所述的真空泵，其中，所述主體包括被安裝在所述流體流動通道內的球體，所述流體流動通道包括收縮部，所述收縮部包括閥座，所述球體在所述關閉位置中配合到所述閥座中，所述球體在所述閥座的前側邊緣上。

5.根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述主體被安裝使得由于所述轉子旋轉導致的離心力作用為朝向所述關閉位置偏置所述主體。

6.根據權利要求5中所述的真空泵，其中，所述主體被安裝在引導件內，所述引導件約束所述主體在所述打開位置與所述關閉位置之間的移動。

7.根據權利要求6所述的真空泵，其中，所述流體流動通道包括所述引導件。

8.根據權利要求6或7所述的真空泵，其中，用于所述主體的所述關閉位置位于所述引導件內的所述轉子的中心徑向最遠的點處。

9.根據權利要求7所述的真空泵，所述流體流動通道包括通過所述葉片的通路，所述流體流動通道包括兩個橫向偏移通道，一個橫向偏移通道從所述轉子的所述前側延伸到連接點，并且另一個橫向偏移通道從所述轉子的所述后側延伸到連接點，連接道徑在所述兩個橫向偏移通道之間延伸，所述主體被安裝從而當在所述關閉位置中時阻塞所述連接道徑。

10.根據權利要求6或7所述的真空泵，其中，相鄰于所述關閉位置的所述主體的至少部分和所述轉子的至少部分由磁性材料形成，使得通過所述主體與所述轉子之間的磁吸引朝向所述關閉位置偏置所述主體。

11.根據權利要求6或7所述的真空泵，其中，所述主體包括盤，所述盤是可操作的，以在所述引導件內滾動。

12.根據權利要求11所述的真空泵，其中，所述引導件包括斜面，使得所述引導件的更靠近于所述后側的邊緣比所述引導件的更靠近于所述前側的邊緣從所述轉子的中心徑向更遠，所述引導件的更靠近于所述后側的所述邊緣包括用于所述主體的所述關閉位置。

13.根據權利要求5所述的真空泵，其中，所述流體流動通道包括通過所述葉片的通路，所述葉片包括中空葉片，所述葉片中的所述至少一個包括通過所述轉子的外表面的通路，所述外表面的通路中的一個位于所述轉子的所述前側上，并且所述外表面的通路中的另一個位于所述轉子的所述后側上，并且所述主體包括桿，所述桿被安裝在所述葉片中的所述至少一個內，所述主體是可操作的，以在所述關閉位置中阻塞所述通路，并且在所述打開位置中保持所述通路打開。

14.根據權利要求3或權利要求4所述的真空泵，包括在每個葉片中的多個流體流動道徑和對應于所述多個流體流動道徑的多個慣性卸壓閥。