[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置、電力變換裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980016986.2
• 申請日: 2019-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN111819697A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田和成;田口健介
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L29/78
• 分類號(hào): H01L29/78;C23C18/16;C23C18/52;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/336;H01L29/12;H01L29/41;H01L29/739;H02M7/48
• 代理公司: 中國貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 李今子

1.一種半導(dǎo)體裝置，具備：

第1導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體層(1、2、2Y)；

上表面構(gòu)造(3、3Y、4、4Y、5、5Y、6、6Y、20、20W、20Y、20Z)，形成于所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的至少表層；以及

上表面電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y、10、10Y)，至少覆蓋所述上表面構(gòu)造(3、3Y、4、4Y、5、5Y、6、6Y、20、20W、20Y、20Z)地形成，

所述上表面電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y、10、10Y)具備：

第1電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y)，形成于所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的至少上表面；以及

第2電極(10、10Y)，覆蓋所述第1電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y)的上表面地形成，

在所述第1電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y)的上表面形成至少1個(gè)第1凹部(8、8Y)，

所述第1凹部(8、8Y)的側(cè)面是錐形形狀，

所述第2電極(10、10Y)覆蓋包括所述第1凹部(8、8Y)內(nèi)的所述第1電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y)的上表面地形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

還具備第2凹部(15)，該第2凹部(15)形成于包括所述第1凹部(8、8Y)內(nèi)的所述第1電極(7A、7G)的上表面，并且寬度比所述第1凹部(8、8Y)窄。

3.一種半導(dǎo)體裝置，具備：

第1導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體層(1、2、2Y)；

上表面構(gòu)造(3、3Y、4、4Y、5、5Y、6、6Y、20、20W、20Y、20Z)，形成于所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的至少表層；以及

上表面電極(7A、7G、10、10Y)，至少覆蓋所述上表面構(gòu)造(3、3Y、4、4Y、5、5Y、6、6Y、20、20W、20Y、20Z)地形成，

所述上表面電極(7A、7G、10、10Y)具備：

第1電極(7A、7G)，形成于所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的至少上表面；以及

第2電極(10、10Y)，覆蓋所述第1電極(7A、7G)的上表面地形成，

在所述第1電極(7A、7G)的上表面形成至少1個(gè)第1凹部(8、8Y)和寬度比所述第1凹部(8、8Y)窄的至少1個(gè)第2凹部(15)，

所述第2電極(10、10Y)覆蓋包括所述第1凹部(8、8Y)和所述第2凹部(15)的所述第1電極(7A、7G)的上表面地形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第1凹部(8、8Y)的側(cè)面與所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的上表面之間的角度是5°以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第1凹部(8、8Y)的側(cè)面與所述半導(dǎo)體層(1、2、2Y)的上表面之間的角度是60°以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第1凹部(8、8Y)在所述第1電極(7、7A、7E、7F、7G、7Y)的上表面形成100個(gè)以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第2凹部(15)形成于所述第1凹部(8、8Y)內(nèi)的斜面。

8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第2凹部(15)針對每1μm²配置1個(gè)以上。

9.根據(jù)權(quán)利要求2至8中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述第1凹部(8、8Y)的寬度是0.1μm以上，所述第2凹部(15)的寬度小于0.1μm。