[發明專利]由透明母片激光形成透明制品以及原位加工透明制品的方法

在審

• 申請號: 201980015615.2
• 申請日: 2019-02-25
• 公開（公告）號: CN111770901A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: A·A·貝克
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B33/033;C03B33/04;C03B33/09;C03C17/00;B23K26/0622;B23K26/53
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張璐;樂洪詠

一種用于加工透明母片的方法，包括在透明母片中形成一個或多個閉合輪廓，每個閉合輪廓限定了透明制品的周界。形成所述一個或多個閉合輪廓中的每個閉合輪廓包括：將脈沖激光束引導到透明母片中以在透明母片中產生缺陷，以及使透明母片和脈沖激光束相對于彼此平移，從而沿著所述一個或多個閉合輪廓形成缺陷。所述方法還包括沿著閉合輪廓分離一部分的透明母片，從而形成一個或多個透明制品，其中，所述透明制品與所述透明母片的框架部分摩擦性接合，向透明制品的表面施加材料，以及釋放透明制品而使其不與框架部分摩擦性接合。

本申請要求2018年2月26日提交的系列號為62/635,197的美國臨時申請的優先權權益，本文以該申請的內容為基礎并通過引用將其全部結合入本文。

背景

技術領域

本說明書一般涉及用于激光加工透明工件的設備和方法，所述透明工件例如透明制品和透明母片，更具體地，涉及由透明母片激光形成透明制品以及原位加工透明制品。

背景技術

材料的激光加工領域涵蓋各種應用，這些應用涉及不同類型的材料的切割、鉆孔、研磨、焊接、熔化等。在這些工藝中，特別受到關注的是在可以用于生產薄膜晶體管(TFT)的材料(例如玻璃、藍寶石或熔凝二氧化硅)或電子裝置的顯示器材料的工藝中切割或分離不同類型的透明基材。

從工藝開發和成本方面看，有許多機會來改進玻璃基材的切割、分離和加工。與目前在市場上實施的方法相比，具有更快、更干凈、更便宜、可重復性更高且更可靠的分離和加工玻璃基材的方法受到極大關注。因此，需要用于分離和加工玻璃基材的替代性的改進方法。

發明內容

根據第1個實施方式，一種加工透明母片的方法包括：在透明母片中形成一個或多個閉合輪廓，每個閉合輪廓包括在透明母片中的多個缺陷，以使每個閉合輪廓限定透明制品的周界。形成所述一個或多個閉合輪廓中的每個閉合輪廓包括：將沿著光束路徑取向并且由光束源輸出的脈沖激光束引導到透明母片中，以使得被引導到透明母片中的一部分脈沖激光束在透明母片中產生誘導吸收，所述誘導吸收在透明母片中產生缺陷；以及使透明母片和脈沖激光束相對于彼此沿著一個或多個閉合輪廓線平移，從而沿著所述一個或多個閉合輪廓線在透明母片中激光形成缺陷。所述方法還包括：沿著閉合輪廓分離一部分的透明母片，從而形成一個或多個透明制品，其中，所述一個或多個透明制品中的至少一個與透明母片的框架部分摩擦性接合；在分離了該部分的透明母片以形成一個或多個透明制品后，向所述至少一個或多個透明制品中的至少一個的表面施加一個或多個材料層；以及在向所述一個或多個透明制品中的至少一個的表面施加所述一個或多個材料層之后，釋放所述一個或多個透明制品中的至少一個而不與透明母片的框架部分摩擦性接合。

第2個實施方式包括如第1個實施方式所述的方法，其中，沿著閉合輪廓分離透明母片從而形成所述一個或多個透明制品包括：向所述一個或多個閉合輪廓施加應力。

第3個實施方式包括如第2個實施方式所述的方法，其中，向所述一個或多個閉合輪廓施加應力包括：向所述一個或多個閉合輪廓施加機械應力。

第4個實施方式包括如第2個實施方式所述的方法，其中，向所述一個或多個閉合輪廓施加應力包括：沿著所述一個或多個閉合輪廓或者在所述一個或多個閉合輪廓附近，將紅外激光束引到透明母片上。

第5個實施方式包括如第1至4個實施方式中任一個所述的方法，其中，所述一個或多個材料層中的至少一個材料層包括金屬化層。

第6個實施方式包括如第1至5個實施方式中任一個所述的方法，其中，所述一個或多個材料層中的至少一個材料層包括抗反射涂層。

第7個實施方式包括如第1至6個實施方式中任一個所述的方法，其中，施加所述一個或多個材料層包括：氣相沉積所述一個或多個材料層。

第8個實施方式是如第1至7個實施方式中任一個所述的方法，施加所述一個或多個材料層包括：旋涂所述一個或多個材料層。