[發(fā)明專利]受引導(dǎo)的圖案化裝置的檢查

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980014812.2
• 申請日: 2019-02-19
• 公開（公告）號: CN111801623B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·B·范奧斯滕;V·韋恩卡特森;J·N·威利;R·T·普拉齊
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/84
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種用于圖案化裝置的檢查的方法，所述方法包括：

獲取(i)圖案化裝置制造工藝的圖案化裝置設(shè)備數(shù)據(jù)，(ii)基于所述圖案化裝置設(shè)備數(shù)據(jù)的圖案化裝置襯底圖，以及(iii)基于所述圖案化裝置襯底圖的、與所述圖案化裝置相對應(yīng)的經(jīng)預(yù)測的工藝窗口限制的圖案位置；以及

由硬件計算機(jī)系統(tǒng)基于所述工藝窗口限制的圖案位置，將圖案化裝置檢查設(shè)備引導(dǎo)到所述工藝窗口限制的圖案位置以進(jìn)行缺陷檢查。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述圖案化裝置設(shè)備數(shù)據(jù)包括襯底高度圖、光束方向、強(qiáng)度或焦距。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述圖案化裝置襯底圖通過建模或模擬來標(biāo)識所述光束方向、所述高度圖、所述強(qiáng)度或所述焦距對所述圖案化裝置圖案的貢獻(xiàn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述經(jīng)預(yù)測的工藝窗口限制的圖案位置是通過對所述圖案化裝置襯底圖的圖案保真度分析進(jìn)行模擬或建模來確定的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述圖案保真度分析包括標(biāo)識所述圖案化裝置內(nèi)的、具有與所述圖案化裝置圖案有關(guān)的相對較高的邊緣位置誤差的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中引導(dǎo)所述圖案化裝置檢查設(shè)備包括：由所述硬件計算機(jī)系統(tǒng)生成信號，以在所述圖案化裝置檢查設(shè)備保持靜止的同時、相對于所述圖案化裝置檢查設(shè)備移動所述圖案化裝置設(shè)備的圖案化裝置支撐件，以使得能夠在與所述圖案化裝置相對應(yīng)的所述工藝窗口限制的圖案位置處進(jìn)行測量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中引導(dǎo)所述圖案化裝置檢查設(shè)備包括：由所述硬件計算機(jī)系統(tǒng)生成信號，以在所述圖案化裝置保持靜止的同時、相對于所述圖案化裝置移動所述圖案化裝置檢查設(shè)備，以使得能夠在與所述圖案化裝置相對應(yīng)的所述工藝窗口限制的圖案位置處進(jìn)行測量。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中引導(dǎo)所述圖案化裝置檢查設(shè)備還包括：由所述硬件計算機(jī)系統(tǒng)生成信號，以調(diào)節(jié)所述檢查設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，從而將照射光束定向到與所述圖案化裝置相對應(yīng)的所述工藝窗口限制的圖案位置。

9.一種用于圖案化裝置的檢查的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：

圖案化裝置設(shè)備，用于制造所述圖案化裝置；

圖案化裝置檢查設(shè)備，被配置為與所述圖案化裝置設(shè)備進(jìn)行通信；

處理器，被配置為：

獲取(i)圖案化裝置設(shè)備數(shù)據(jù)、(ii)基于所述圖案化裝置設(shè)備數(shù)據(jù)的圖案化裝置襯底圖，以及(iii)基于所述圖案化裝置襯底圖的、與所述圖案化裝置相對應(yīng)的經(jīng)預(yù)測的工藝窗口限制的圖案位置；以及

基于所述工藝窗口限制的圖案位置，將圖案化裝置檢查設(shè)備引導(dǎo)到所述工藝窗口限制的圖案位置以進(jìn)行缺陷檢查。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述經(jīng)預(yù)測的工藝窗口限制的圖案位置是通過對所述圖案化裝置襯底圖的圖案保真度分析進(jìn)行模擬或建模來確定的。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述圖案保真度分析包括：標(biāo)識所述圖案化裝置內(nèi)的、具有與所述圖案化裝置圖案有關(guān)的相對較高的邊緣位置誤差的位置。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為：生成信號，以在所述圖案化裝置檢查設(shè)備保持靜止的同時、相對于所述圖案化裝置檢查設(shè)備移動所述圖案化裝置設(shè)備的圖案化裝置支撐件，以使得能夠在與所述圖案化裝置相對應(yīng)的所述工藝窗口限制的圖案位置處進(jìn)行測量。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為：生成信號，以在所述圖案化裝置保持靜止的同時、相對于所述圖案化裝置移動所述圖案化裝置檢查設(shè)備，以使得能夠在與所述圖案化裝置相對應(yīng)的所述工藝窗口限制的圖案位置處進(jìn)行測量。