[發明專利]用于使基座與驅動軸連接的裝置

有效

• 申請號: 201980014128.4
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN111788338B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: T.W.巴斯特克;F.魯達維特;M.普菲斯特雷爾
• 申請（專利權）人: 艾克斯特朗歐洲公司
• 主分類號: C30B25/12
• 分類號: C30B25/12;C23C16/458
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 李萌

1.一種用于將CVD反應器的基座(31)固定在驅動軸(40)上的裝置，所述裝置帶有承載板(2)，所述承載板(2)具有承載面(5)，所述基座(31)的支撐面(32)能夠安放在所述承載面(5)上；帶有底板(3)，所述底板(3)能夠與所述驅動軸(40)連接并且通過所述底板(3)能夠承載所述承載板(2)；

設置了由所述驅動軸(40)承載的和/或能夠固定在所述驅動軸(40)上的法蘭元件(4)，利用可拆卸的緊固器件(7、8、9)能夠將所述底板(3)固定或者能夠固定在所述法蘭元件上；

設置了用于調節所述承載板(2)相對于底板(3)的傾斜度的調節器件(16、17、18、19)，其特征在于，所述調節器件(16、17、18、19)是調節杠桿(16)。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述調節杠桿(16)支撐在所述底板(3)上并且以第一杠桿臂(17)作用在所述承載板(2)的底面(2′)上，并且所述調節杠桿(16)具有第二杠桿臂(18)，旋擰到到中央區域(6)的螺紋孔中的調節螺栓(19)作用在所述第二杠桿臂(18)上。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第二杠桿臂(18)比第一杠桿臂(17)的長度更大。

4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，設置了朝所述底板(3)的方向對所述承載板(2)施加力的牽拉元件(11、14、15)。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述緊固器件(7、8、9)具有多個緊固螺栓(8)，所述緊固螺栓(8)插入所述底板(3)的緊固孔(9)中并且旋擰到到所述法蘭元件(4)的螺紋孔(7)中。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述緊固螺栓(8)具有頭部(8′)，所述頭部(8′)安置在所述緊固孔(9)的直徑增大的區段(9′)中。

7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述承載板(2)的遠離所述底板(?3)的端側具有中央區域(6)，在所述中央區域(6)中布置有用于貫穿插入所述緊固螺栓(8)的貫穿開口(10)。

8.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述承載面(5)包圍所述中央區域(6)。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述法蘭元件(4)具有夾緊元件(25、28、41)，以便固定在驅動軸(40)的外側面上。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述法蘭元件(4)具有兩個夾緊鉗口(41)，利用夾緊元件(25)能夠使所述夾緊鉗口(41)相對移動。

11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述法蘭元件(4)具有一個或多個夾緊螺栓(28)，所述夾緊螺栓(28)能夠沿徑向方向朝所述驅動軸(40)的外側面作用。

12.一種用于將CVD反應器的基座(31)固定在驅動軸(40)上的裝置，所述裝置帶有承載板(2)，所述承載板(2)具有承載面(5)，所述基座(31)的支撐面(32)能夠安放在所述承載面(5)上；帶有底板(3)，所述底板(3)能夠與所述驅動軸(40)連接并且通過所述底板(3)能夠承載所述承載板(2)；

設置了由所述驅動軸(40)承載的和/或能夠固定在所述驅動軸(40)上的法蘭元件(4)，利用可拆卸的緊固器件(7、8、9)能夠將所述底板(3)固定或者能夠固定在所述法蘭元件上；

設置了用于調節所述承載板(2)相對于底板(3)的傾斜度的調節器件(16、17、18、19)，其特征在于，在配屬于所述承載板(2)的底面(2′)的突伸部(42)的空腔(43)中置入柔性的密封件(21)，并且所述密封件(21)具有與配屬于氣體通道(23)的底面(2′)的進氣開口對準的氣體貫穿開口(22)并且能夠安放在所述驅動軸(40)的端側上。