[發明專利]多級真空泵和差異化地抽吸多個真空室的方法

有效

• 申請號: 201980007712.7
• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號: CN111542699B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: P·諾思;I·奧爾森
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/26;F04C18/16;F04C18/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉楨;司昆明

1.一種包括多個入口(10, 20)的多級正排量真空泵，所述真空泵包括：

殼體，其用于容納至少一個轉子，該至少一個轉子安裝成在對應的至少一個軸上旋轉并且用于抽吸氣體通過所述真空泵的多個級(12, 22, 32, 42, 52, 62, 72)，以通過排氣口(30)輸出；

所述殼體包括所述多個入口(10, 20)，所述多個入口(10, 20)包括：

第一入口(10)，其被配置成允許氣體進入所述真空泵的入口級(12)；

另外的入口(20)，其被配置成允許氣體進入所述真空泵的中間級(22, 32, 42, 52,62)；和

分流通道，其用于將氣體流從所述中間級(22)的第一入口側上的泵級分流至所述中間級(22)的排氣側上的泵級(32)，其中

所述真空泵被配置成使得被允許通過所述第一入口(10)和所述另外的入口(20)中的每一個進入的氣體作為組合氣體流一起被所述中間級下游的所述真空泵的至少一級抽吸；并且

所述真空泵被配置成差異化地抽吸多個室(84, 86)，所述第一入口(10)被配置成連接到較低真空室(84)，并且所述另外的入口(20)被配置成充當抽吸較高真空室(86)的真空泵的前級泵。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其中，所述中間級(22)包括出口，用于將由所述中間級(22)抽吸的流朝向所述中間級(22)的第一入口側上的泵級(12)分流。

3.根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述真空泵包括多級羅茨泵、多級爪型泵或多級螺桿泵中的一種。

4.根據權利要求1或2所述的真空泵，所述真空泵包括安裝成在雙軸上旋轉的雙轉子。

5.根據權利要求1或2所述的真空泵，所述真空泵包括四個或更多個級(12, 22, 32,42, 52, 62, 72)，所述四個或更多個級從所述入口級(12)沿著所述至少一個軸穿過多個中間級(22, 32, 42, 52, 62)連續地布置到排氣級(72)。

6.根據權利要求1或2所述的真空泵，其中，所述中間級(22, 32)包括鄰近所述入口級(12)的級(22)或與所述入口級(12)相隔一級的級(42)中的一個。

7.根據權利要求1或2所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成相比通過所述另外的入口(20)抽吸更高的氣體流量通過所述第一入口(10)。

8.根據權利要求7所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成相比通過所述另外的入口(20)的氣體流量抽吸十倍以上的氣體流量通過所述第一入口(10)。

9.根據權利要求7所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成通過所述第一入口(10)抽吸在5和10slm之間的氣體流量。

10.根據權利要求1或2所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成在所述第一入口(10)處提供在3和5毫巴之間的真空，并且在所述另外的入口(20)處提供適于支持次級泵的壓力。

11.根據權利要求10所述的真空泵，其中，在所述另外的入口(20)處提供的所述壓力在0.8和10毫巴之間。

12.根據權利要求11所述的真空泵，其中，在所述另外的入口(20)處提供的所述壓力在0.8和2.5毫巴之間。

13.一種利用前述權利要求中任一項所述的真空泵在真空系統中差異化地抽吸多個真空室(84, 86)的方法，所述方法包括：

將所述真空泵的所述第一入口(10)連接到較低真空室(84)；和

將所述另外的入口(20)連接到抽吸較高真空室(86)的高真空泵的排氣口。

14.根據權利要求13所述的方法，其中，所述真空系統包括質譜系統，其中壓力通過連續的真空室(84, 86)分級降低，所述真空室(84, 86)經由限流器(82)被連接以控制所述真空室(84, 86)之間的流動。