[發明專利]微粒檢測器

在審

• 申請號: 201980007519.3
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN111656159A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 菅野京一;奧村英正;水野和幸
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06;G01N27/68;H01T19/04
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;鄭雪娜

微粒檢測器10具備：陶瓷制的殼體22；電荷產生部30，其對導入至氣體流路24內的氣體中的微粒26附加通過放電而產生的電荷28，由此使該微粒26形成為帶電微粒P；捕集部50，其對帶電微粒進行捕集；以及個數測定裝置64，其基于根據捕集部50捕集到的帶電微粒P而發生變化的電流，對微粒的數量進行檢測。捕集部50具有：在氣體流路24內露出的捕集電極54、以及隔著氣體流路24而與捕集電極54對置的對置電極52，通過向捕集電極54與對置電極52之間所施加的電壓而在捕集電極54與對置電極52之間產生電場，利用該電場將帶電微粒P捕集于捕集電極54。殼體22具有保護電極，該保護電極對從對置電極52經殼體22向捕集電極54流動的漏電流進行吸收。

技術領域

本發明涉及微粒檢測器。

背景技術

作為微粒檢測器，已知有如下微粒檢測器，該微粒檢測器具備：陶瓷制的殼體，其具有氣體流路；電荷產生部，其對導入至氣體流路內的氣體中的微粒附加通過放電而產生的電荷，由此使該微粒形成為帶電微粒；捕集部，該捕集部在氣體流路內比電場產生部靠下游側的位置對帶電微粒進行捕集；以及個數測定部，該個數測定部基于所捕集到的帶電微粒的電荷的量來測定微粒的個數(例如參見專利文獻1)。捕集部具有：在氣體流路內露出的捕集電極、以及隔著氣體流路而與捕集電極對置的對置電極。通過向捕集電極與對置電極之間所施加的電壓而在氣體流路中的捕集電極與對置電極之間產生電場，捕集電極利用該電場，對帶電微粒進行捕集。所捕集到的帶電微粒的電荷的量以微小的電流(例如數pA)的形式被檢測出。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2015/146456號小冊子

發明內容

然而，當向捕集電極與對置電極之間施加電壓時，會有少許的漏電流從捕集電極及對置電極中的一方經陶瓷制的殼體而向另一方流動，該漏電流有時會對與捕集電極捕集到的帶電微粒的量相當的微小的檢測電流造成影響。因此，很難提高微粒的量的檢測精度。

本發明是為了解決上述課題而實施的，其主要目的在于，提高微粒的量的檢測精度。

本發明為了達成上述主要目的而采用了以下手段。

本發明的微粒檢測器用于對氣體中的微粒進行檢測，

所述微粒檢測器的特征在于，具備：

殼體，該殼體具有供所述氣體通過的氣體流路；

電荷產生部，該電荷產生部對導入至所述氣體流路內的所述氣體中的微粒附加通過放電而產生的電荷，由此使該微粒形成為帶電微粒；

捕集部，該捕集部在所述氣體流路內設置為相比所述電場產生部更靠所述氣體的氣流的下游側，對捕集對象進行捕集，該捕集對象為所述帶電微粒和沒有帶電于所述微粒的剩余電荷中的任一者；以及

檢測部，該檢測部基于根據所述捕集部捕集到的所述捕集對象而發生變化的物理量對所述微粒的量進行檢測，

所述捕集部具有：在所述氣體流路內露出的捕集電極、以及隔著所述氣體流路而與所述捕集電極對置的對置電極，通過向所述捕集電極與所述對置電極之間所施加的電壓而在所述氣體流路中的所述捕集電極與所述對置電極之間產生電場，利用該電場，將所述捕集對象捕集于所述捕集電極，

所述殼體具有漏電流吸收電極，該漏電流吸收電極對從所述捕集電極及所述對置電極中的一方經所述殼體而向另一方流動的漏電流進行吸收。