[發明專利]氮化鋁板

有效

• 申請號: 201980005455.3
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN111868011B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 小林義政;小林博治
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: C04B35/581
• 分類號: C04B35/581;C30B29/38
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;鄭雪娜

1.一種氮化鋁板，其中，

當從厚度方向對表層進行X射線衍射測定時的(002)晶面的衍射強度相對于(002)晶面的衍射強度與(100)晶面的衍射強度之和的比例為c面取向度c1，且從厚度方向對表層以外的部位進行X射線衍射測定時的(002)晶面的衍射強度相對于(002)晶面的衍射強度與(100)晶面的衍射強度之和的比例為c面取向度c2時，同時滿足以下的關系式(1)及(2)，

表層的含氮量與表層以外的部位的含氮量之差按重量比計小于0.15％，

c1＞97.5％……(1)

c2/c1＜0.995…(2)。

2.根據權利要求1所述的氮化鋁板，其中，

表層的氮化鋁晶體的(102)晶面的X射線搖擺曲線中的半值寬度為2.5°以下。

3.根據權利要求1或2所述的氮化鋁板，其中，

表層以外的部位的c面取向度c2為97％以上。