[發(fā)明專利]一種巨量轉(zhuǎn)移裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980003353.8
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN111108586B
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許時淵
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L27/15;H01L33/48
• 代理公司: 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 王永文

本發(fā)明公開了一種巨量轉(zhuǎn)移裝置及方法，所述巨量轉(zhuǎn)移裝置包括：殼體、設(shè)置在所述殼體內(nèi)的滑板；所述殼體背面設(shè)置有用于吸附微元件的吸附孔，所述殼體正面設(shè)置有真空孔，所述滑板上設(shè)置有第一通孔，所述滑板可在所述殼體內(nèi)滑動并通過所述第一通孔連通或斷開所述吸附孔和所述真空孔。通過控制滑板滑動第一距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，即可進行巨量轉(zhuǎn)移；控制滑板滑動第二距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，也可以進行巨量轉(zhuǎn)移；其中，滑板滑動第二距離時連通的真空孔和吸附孔與滑板滑動第一距離時連通的真空孔和吸附孔不同。也就是說，通過控制滑板的滑動距離可以選擇性連通真空孔和吸附孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及的是一種巨量轉(zhuǎn)移裝置及方法。

背景技術(shù)

巨量轉(zhuǎn)移裝置應(yīng)用于大量微元件(如Micro-LED)的轉(zhuǎn)移，由于Micro-LED等微元件是分為R、G、B三色Micro-LED的，現(xiàn)有技術(shù)中的巨量轉(zhuǎn)移裝置通產(chǎn)采用的是全取、全轉(zhuǎn)移的方式，無法選擇性轉(zhuǎn)移某一部分微元件。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進和發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種巨量轉(zhuǎn)移裝置及方法，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中無法選擇性轉(zhuǎn)移某一部分微元件的問題。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下：

一種巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，包括：殼體、設(shè)置在所述殼體內(nèi)的滑板；所述殼體背面設(shè)置有用于吸附微元件的吸附孔，所述殼體正面設(shè)置有真空孔，所述滑板上設(shè)置有第一通孔，所述滑板可在所述殼體內(nèi)滑動并通過所述第一通孔連通或斷開所述吸附孔和所述真空孔。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述吸附孔呈第一點陣列分布。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述真空孔呈第二點陣列或第一線陣列分布；其中，所述第一線陣列中的線與所述吸附孔的連線對應(yīng)設(shè)置。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述第一通孔呈第三點陣列或第二線陣列分布；其中，所述第二線陣列中的線與所述吸附孔的連線對應(yīng)設(shè)置。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述第三點陣列中點的數(shù)量小于所述第二點陣列中點的數(shù)量，所述第二線陣列中線的數(shù)量小于所述第一線陣列中線的數(shù)量。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述滑板上設(shè)置有第二通孔，所述第二通孔位于相鄰兩個所述第一通孔的1/4處。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述滑板上設(shè)置有第三通孔，所述第三通孔位于相鄰兩個所述第一通孔的1/2處。

所述的巨量轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述滑板上設(shè)置有第四通孔，所述第四通孔位于相鄰兩個所述第一通孔的3/4處。

一種巨量轉(zhuǎn)移方法，其中，采用如上述任意一項所述巨量轉(zhuǎn)移裝置，所述方法包括步驟：

控制滑板滑動第一距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，并進行巨量轉(zhuǎn)移；

控制滑板滑動第二距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，并進行巨量轉(zhuǎn)移；其中，滑板滑動第二距離時連通的真空孔和吸附孔與滑板滑動第一距離時連通的真空孔和吸附孔不同。

所述的巨量轉(zhuǎn)移方法，其中，所述控制滑板滑動第一距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，包括：

控制滑板滑動第一距離以使第一通孔或第二通孔或第三通孔或第四通孔連通真空孔和吸附孔。

有益效果：通過控制滑板滑動第一距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，即可進行巨量轉(zhuǎn)移；控制滑板滑動第二距離并連通對應(yīng)的真空孔和吸附孔，也可以進行巨量轉(zhuǎn)移；其中，滑板滑動第二距離時連通的真空孔和吸附孔與滑板滑動第一距離時連通的真空孔和吸附孔不同。也就是說，通過控制滑板的滑動距離可以選擇性連通真空孔和吸附孔。

附圖說明