[實(shí)用新型]一種多探頭掃描成像系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922497405.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211740137U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇勝飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市太赫茲科技創(chuàng)新研究院有限公司;華訊方舟科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24;G01B11/22
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 唐雙

1.一種多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，所述多探頭掃描成像系統(tǒng)包括：光源單元、參考臂光路單元、樣品臂光路單元、樣品檢測(cè)臺(tái)和信號(hào)處理單元；所述樣品臂光路單元進(jìn)一步包括探頭選擇裝置以及與所述探頭選擇裝置連接的至少兩個(gè)探頭；

所述光源單元產(chǎn)生參考光和樣品光，所述參考光通過(guò)所述參考臂光路，以形成參考回光；所述樣品光通過(guò)所述至少兩個(gè)探頭中的一個(gè)探頭照射到所述樣品檢測(cè)臺(tái)的待檢測(cè)樣品上，以形成樣品回光；

所述信號(hào)處理單元探測(cè)所述參考回光和所述樣品回光干涉產(chǎn)生的干涉光譜，并基于所述干涉光譜計(jì)算所述待檢測(cè)樣品的深度信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述至少兩個(gè)探頭包括第一探頭和第二探頭；所述探頭選擇裝置包括第一準(zhǔn)直透鏡、第一振鏡以及第一聚焦透鏡；所述第一準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述樣品光平行，所述第一振鏡具有第一位置和第二位置；

所述樣品光依次通過(guò)所述第一準(zhǔn)直透鏡、所述第一位置的第一振鏡和所述第一聚焦透鏡，照射到所述第一探頭；

或者，所述樣品光依次通過(guò)所述第一準(zhǔn)直透鏡、所述第二位置的第一振鏡和所述第一聚焦透鏡，照射到所述第二探頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述第一聚焦透鏡的主光軸垂直，所述第一準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述第一位置的第一振鏡所形成的夾角大于所述第一準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述第二位置的第一振鏡所形成的夾角。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一探頭和/或所述第二探頭包括第二準(zhǔn)直透鏡、第二振鏡以及第二聚焦透鏡；其中，所述第二準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述樣品光平行，所述第二準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述第二振鏡所形成的夾角為45°，所述第二準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述第二聚焦透鏡的主光軸垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述參考臂光路單元包括第三準(zhǔn)直透鏡和反射鏡，所述參考光通過(guò)所述第三準(zhǔn)直透鏡后在所述反射鏡表面發(fā)生反射，產(chǎn)生所述參考回光。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述參考臂光路單元進(jìn)一步包括第三振鏡、第三聚焦透鏡以及至少一個(gè)玻璃片；所述第三準(zhǔn)直透鏡的主光軸與所述參考光平行，所述第三振鏡具有第一位置和第二位置；

所述參考光依次通過(guò)所述第三準(zhǔn)直透鏡、所述第一位置的第三振鏡和所述第三聚焦透鏡，并在所述反射鏡表面反射；

或者，所述參考光依次通過(guò)所述第三準(zhǔn)直透鏡、所述第二位置的第三振鏡、所述至少一個(gè)玻璃片和所述第三聚焦透鏡，并所述反射鏡表面反射。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述信號(hào)處理單元包括光譜儀和計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)；

所述光譜儀基于所述參考回光和所述樣品回光形成所述干涉光譜，并將所述干涉光譜傳輸至所述計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)；

所述計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)基于所述干涉光譜計(jì)算所述待檢測(cè)樣品的深度信息。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述光源單元包括寬帶光源和耦合器；

所述寬帶光源產(chǎn)生的光源通過(guò)所述耦合器分為所述參考光和所述樣品光；

所述參考回光和所述樣品回光經(jīng)過(guò)所述耦合器耦合后，輸入所述信號(hào)處理單元進(jìn)行處理，以獲取所述待檢測(cè)樣品的深度信息。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述耦合器為2X2光纖耦合器，所述光纖耦合器通過(guò)光纖連接頭與所述探頭選擇裝置連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多探頭掃描成像系統(tǒng)，其特征在于，

所述寬帶光源為超輻射發(fā)光二極管。