[實用新型]一種用于燒結(jié)管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材的承燒板

有效

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• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211261791U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷雨;肖世洪;趙明增;周志宏;許積文;楊永添;周昭宇;周昭寅
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: F27D3/12
• 分類號: F27D3/12
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

本實用新型公開了一種用于燒結(jié)管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材的承燒板。所述承燒板包括固定部分和滑移部分，滑移部分位于固定部分的上方，固定部分上部設(shè)有斜面，滑移部分底部設(shè)有與固定部分的斜面相配合的斜面，固定部分和滑移部分之間構(gòu)成滑移面，且滑移面相對于水平面的傾斜角為10°?50°，所述滑移面的粗糙度為0.5?16μm。本實用新型能夠降低靶材致密化收縮時的摩擦力，有效避免與承燒板接觸的靶材端產(chǎn)生變形，或者較嚴重的開裂，且承燒板的滑移面相對于水平面的傾斜角為10°?50°，可極大的降低靶材生坯在燒結(jié)時因收縮導致與承燒板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材產(chǎn)生變形、開裂等缺陷，極大的提高了靶材的良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及陶瓷靶材燒結(jié)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于燒結(jié)管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材的承燒板。

背景技術(shù)

陶瓷靶材是一類非常重要的真空鍍膜材料，例如ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO₂、Nb₂O₅等。陶瓷靶材是一種或多種氧化物粉末經(jīng)過混合、造粒、成型、燒結(jié)而成的陶瓷材料。經(jīng)過多年的發(fā)展，目前，陶瓷靶材的生產(chǎn)雖然大量借鑒了傳統(tǒng)陶瓷的制備工藝，但是仍然存在燒結(jié)致密度不夠、開裂、孔洞等問題，其燒結(jié)工藝還有很大的提升空間。

傳統(tǒng)的工藝在進行管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材燒結(jié)時，生坯的擺放主要是將生坯豎放在氧化鋁等承燒板上，然后一起放進燒結(jié)爐中進行燒結(jié)，由于靶材的長度較短、質(zhì)量輕、燒結(jié)收縮時的摩擦阻力小，因此滿足了以往短節(jié)距靶材的生產(chǎn)要求。但是，隨著管狀旋轉(zhuǎn)靶材的長度逐漸要求加長，以減少拼接縫隙數(shù)量，這就使得靶材的重量顯著增加，收縮時的摩擦阻力較大，導致與承燒板接觸的靶材端變形、開裂，影響了良率和取材料。

CN201580073047.3公開一種圓筒形靶材的制造方法，將陶瓷成形體的外周面沿著長度方向被托架的接受面支撐，且相對于水平面呈傾斜的姿勢燒制所述成形體，相對于所述水平面的所述成形體的傾斜角為30°以上85°以下，減少靶材的變形。CN107459345A公開了一種以平躺方式燒結(jié)氧化銦錫管狀旋轉(zhuǎn)靶材的方法，該方法為橢圓形的管狀，承燒板上擺放二排擋塊，二排擋塊的間距比生坯的外橢圓短軸大20～100mm，生坯平躺放在二排擋塊之間，橢圓形長軸與承燒板垂直，然后在生坯兩側(cè)與擋塊之間填充氧化鋁砂。該方法可使旋轉(zhuǎn)靶材的長度不受限于燒結(jié)爐高度，橢圓形的素坯結(jié)構(gòu)使得燒結(jié)變形量小。CN206369474U公開了一種防止燒結(jié)變形的旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材燒結(jié)裝置，包括圓筒形的陶瓷生坯，墊到陶瓷生坯下的墊燒塊，以及用于燒結(jié)的爐底板。陶瓷生坯、墊燒塊、爐底板三者之間設(shè)置有2層滾珠層，將滑動摩擦變成滾動摩擦，大大減少摩擦力，使陶瓷生坯在燒結(jié)加溫的收縮過程中可以自由收縮。

CN201580073047.3提出的方法需要額外的傾斜支撐板，占用了較大的燒結(jié)爐空間；CN107459345A提出的方法需要把靶材生坯壓制成橢圓形；CN206369474U提出的方法在靶材比重大時，滑移部分收縮時，滾珠會不規(guī)則變化，滑移效果會變差。因此，針對長節(jié)距的旋轉(zhuǎn)靶材，需要提出更好的解決辦法。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種用于燒結(jié)管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材的承燒板，該承燒板可極大降低靶材生坯在燒結(jié)時因收縮導致與承燒板的摩擦力，有利于靶材致密化，防止靶材產(chǎn)生變形、開裂等缺陷，極大的提高了靶材的良率。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術(shù)方案如下：

一種用于燒結(jié)管狀旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材的承燒板，所述承燒板包括固定部分和滑移部分，滑移部分位于固定部分的上方，固定部分上部設(shè)有斜面，滑移部分底部設(shè)有與固定部分的斜面相配合的斜面，固定部分和滑移部分之間構(gòu)成滑移面，且滑移面相對于水平面的傾斜角為10°-50°，所述滑移面的粗糙度為0.5-16μm。本實用新型的雙承燒板的滑移面，可降低靶材生坯在燒結(jié)時因收縮導致與承燒板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材產(chǎn)生變形、開裂等缺陷。