[實用新型]拋光頭清洗裝置

有效

• 申請號: 201922490595.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211867496U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 楊兆明;顏凱;中原司
• 申請（專利權）人: 浙江芯暉裝備技術有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 韓嫚嫚;趙燕力

本實用新型為一種拋光頭清洗裝置，包括，基板，能固定連接于機體上；毛刷結構，包括基板上方能拆卸地設置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉，第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側面，第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；旋轉驅動結構，包括第一旋轉部和第二旋轉部；升降結構，連接于基板的底部且向下延伸設置，升降結構用于驅動毛刷結構和旋轉驅動結構沿豎直方向升降；噴水結構，用于噴水沖洗拋光頭；控制部，旋轉驅動結構、升降結構和噴水結構均與控制部電連接。該裝置可以有效清洗拋光頭，防止在吸取硅片的時候拋光頭上有異物對硅片造成劃傷或者異物掉落在硅片上，保證硅片的性能。

技術領域

本實用新型涉及硅片研磨的技術領域，尤其涉及一種拋光頭清洗裝置。

背景技術

單晶硅作為一種重要的半導體材料，具有良好的電學性能和熱穩定性，自被人們發現和利用后很快替代其它半導體材料。硅材料因其具有耐高溫和抗輻射性能較好，特別適用于制作大功率器件的特性而成為應用最多的一種半導體材料，集成電路半導體器件大多數由硅材料制成的。在制造性能良好的硅單晶方法中，直拉法生長硅單晶具有設備和工藝相對簡單、容易實現自動控制。直拉單晶硅棒從單晶爐中拉制出來以后需要進行一系列的工序，前期包括截斷、開方、圓角研磨和平面研磨等機械加工；中期還需要將單晶硅棒進行滾磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期將硅片進行制絨、擴散、結晶和燒結等工序后才能制造成半導體器件或用于光伏發電的太陽能電池片。

其中在中期研磨工序中，硅片與研磨盤屬于干摩擦，容易使研磨盤表面發熱而損壞，同時熱量還會燒傷硅片。拋光頭和吸附墊上有異物，加工時對硅片造成劃傷或者掉落在硅片上，影響硅片的性能。

由此，本發明人憑借多年從事相關行業的經驗與實踐，提出一種拋光頭清洗裝置，以克服現有技術的缺陷。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種拋光頭清洗裝置，克服現有技術中存在的拋光頭上異物磨損造成硅片損傷、影響硅片性能等問題，該裝置可以有效清洗拋光頭，防止在吸取硅片的時候拋光頭上有異物對硅片造成劃傷或者異物掉落在硅片上，保證硅片的性能。

本實用新型的目的是這樣實現的，一種拋光頭清洗裝置，包括，

基板，能固定連接于機體上；

毛刷結構，包括基板上方平行間隔且能拆卸地設置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉，所述第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側面，所述第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；

旋轉驅動結構，包括能分別驅動所述第一毛刷部和第二毛刷部旋轉的第一旋轉部和第二旋轉部；

升降結構，連接于所述基板的底部且向下延伸設置，所述升降結構用于驅動所述毛刷結構和所述旋轉驅動結構沿豎直方向升降；

噴水結構，用于噴水沖洗拋光頭；

控制部，所述旋轉驅動結構、所述升降結構和所述噴水結構均與所述控制部電連接。

在本實用新型的一較佳實施方式中，所述毛刷結構包括一所述第一毛刷部和兩個所述第二毛刷部，所述第一毛刷部設置于兩個所述第二毛刷部之間，所述毛刷結構能同時清洗兩個拋光頭。

在本實用新型的一較佳實施方式中，所述第一旋轉部包括穿過所述基板設置的第一旋轉軸，所述第一毛刷部能拆卸地連接于第一旋轉軸的頂端，所述第一旋轉軸位于所述基板下方的一端連接設置第一伺服馬達，所述第一伺服馬達用于驅動所述第一旋轉軸和所述第一毛刷部周向旋轉，所述第一旋轉軸的底端設置第一同步帶輪，所述第一伺服馬達的輸出端設置第二同步帶輪，所述第一同步帶輪和所述第二同步帶輪上套設第一同步帶；所述第一伺服馬達架設于第一馬達基座上，所述升降結構包括能驅動所述第一馬達基座、所述第一伺服馬達、所述第一旋轉軸和所述第一毛刷部升降的第一氣缸；