[實用新型]一種曝光機降塵排風裝置

有效

• 申請號: 201922486925.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211979416U
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 蔣海軍
• 申請（專利權）人: 蘇州必思實精密機械有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種曝光機降塵排風裝置，包括曝光機機身(1)，吹風風扇(2)和排氣風扇(3)，其特征在于；所述曝光機機身(1)內固定安裝只有吹風風扇(2)，該吹風風扇(2)不少于四個，該吹風風扇(2)平均分布在機身四個內壁上，所述曝光機機身(1)下端面開設有若干排風口(11)，該排風口(11)內固定安裝有排氣風扇(3)。

2.根據權利要求1所述的一種曝光機降塵排風裝置，其特征在于：所述吹風風扇(2)與曝光機機身之間固定設有彎角連接件(21)，該彎角連接件(21)使吹風風扇與曝光機機身(1)內壁成四十五度夾角。

3.根據權利要求1所述的一種曝光機降塵排風裝置，其特征在于：所述吹風風扇(2)為直流風扇。