[實用新型]一種防止撞擊的石墨舟推車有效
| 申請號: | 201922483640.3 | 申請日: | 2019-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN211208412U | 公開(公告)日: | 2020-08-07 |
| 發明(設計)人: | 張琳;繆愛群 | 申請(專利權)人: | 浙江鴻禧能源股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 翁斌 |
| 地址: | 314000 浙江省嘉*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 防止 撞擊 石墨 推車 | ||
本實用新型公開了一種防止撞擊的石墨舟推車,包括均勻分布有氣孔的車面,所述車面的上安裝有框形軟性膠墊,框形軟性膠墊中設有若干軟性支撐橫條,軟性支撐橫條的兩端固定連接框形軟性膠墊,軟性支撐橫條避開車面上的氣孔。本實用新型的目的是提供一種防止撞擊的石墨舟推車接觸設計結構,有效地降低石墨舟小推車與石墨舟接觸的碰撞力,防止或減少石墨舟舟葉損壞問題,降低生產成本。
技術領域
本實用新型屬于晶硅太陽能電池片生產設備技術領域,具體涉及一種防止撞擊的石墨舟推車。
背景技術
在晶硅太陽能電池片制備工藝中,目前最常見的是通過管式PECVD在硅片表面沉積鈍化膜或者減反射膜。管式PECVD運輸硅片的載體是石墨舟,而石墨舟的運輸則是通過小推車來完成?,F有用來裝運石墨舟的推車會在車面上設置氣孔,再連接氣源通過氣孔對石墨舟進行冷卻。將石墨舟放置在推車上時,石墨舟與推車之間會產生碰撞。PECVD鍍膜結束后石墨舟的溫度很高,上面還承載了大量高溫的硅片,石墨舟與推車接觸瞬間產生的沖擊力很容易導致石墨舟舟葉損壞嚴重。因此在生產過程中需要很小心的將石墨舟轉移到推車上,即使這樣還是會有一定的石墨舟在搬運過程中造成損傷,影響了石墨舟的使用壽命,增加了成本,同時生產效率受到影響。
發明內容
為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是:一種防止撞擊的石墨舟推車,包括均勻分布有氣孔的車面,所述車面的上安裝有框形軟性膠墊,框形軟性膠墊中設有若干軟性支撐橫條,軟性支撐橫條的兩端固定連接框形軟性膠墊,軟性支撐橫條避開車面上的氣孔。
作為上述技術方案的優選,所述軟性支撐橫條的上端面高度低于框形軟性膠墊上端面的高度。
作為上述技術方案的優選,所述框形軟性膠墊位于車面最外側一圈氣孔上,框形軟性膠墊的下端面固定連接有若干插桿,插桿分別插入車面最外側一圈氣孔的相應氣孔中,插桿與氣孔過盈配合。
作為上述技術方案的優選,所述軟性支撐橫條將框形軟性膠墊內部分隔成若干方框單元,框形軟性膠墊的側面設有若干分別連通方框單元的通孔。
作為上述技術方案的優選,所述框形軟性膠墊由四條軟性膠條依次首尾相接構成,軟性膠條由上窄下寬的梯形臺部和位于梯形臺部上端面的長方體部構成。
作為上述技術方案的優選,所述軟性支撐橫條的橫截面為上窄下寬的梯形。
作為上述技術方案的優選,所述軟性支撐橫條的上端面與梯形臺部的上端面持平。
作為上述技術方案的優選,所述插桿、梯形臺部、長方體部和軟性支撐橫條一體成型。
本實用新型的有益效果是:本實用新型的目的是提供一種防止撞擊的石墨舟推車接觸設計結構,有效地降低石墨舟小推車與石墨舟接觸的碰撞力,防止或減少石墨舟舟葉損壞問題,降低生產成本。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖;
圖2是本實用新型的截面示意圖。
具體實施方式
下面將結合附圖對本發明的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。
在本發明的描述中,需要說明的是,術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系,僅是為了便于描述本發明和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本發明的限制。此外,術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對重要性。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





