[實用新型]一種層壓機用抽真空裝置及光伏組件用層壓機有效
| 申請號： | 201922475413.6 | 申請日： | 2019-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN210897311U | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發明（設計）人： | 趙杰;胡靜亮;鄭張安 | 申請（專利權）人： | 晶澳（邢臺）太陽能有限公司;晶海洋半導體材料（東海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/048 | 分類號： | H01L31/048 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐穎聰 |
| 地址： | 054000 河北省邢*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 層壓 機用抽 真空 裝置 組件 | ||
1.一種層壓機用抽真空裝置，其特征在于，包括：
用于容納被抽真空物體的腔室；
羅茨泵，所述羅茨泵與所述腔室通過第一管道連接，所述第一管道上設有第一閥門和第二閥門；
緩沖罐，所述緩沖罐與所述第一管道連接，且位于所述第一閥門和第二閥門之間；
第二管道，第二管道與所述腔室和所述羅茨泵連接，且所述第二管道與所述第一管道并聯，所述第二管道上設有第三閥門；
真空泵，所述真空泵與羅茨泵串聯連接。
2.根據權利要求1所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，還包括：
控制器，所述控制器分別與所述羅茨泵、所述真空泵和所述第一閥門、所述第二閥門和所述第三閥門連接。
3.根據權利要求2所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，所述控制器分別與所述羅茨泵、所述真空泵和所述第一閥門、所述第二閥門和所述第三閥門無線連接。
4.根據權利要求1所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，所述第一閥門、所述第二閥門和所述第三閥門為角閥。
5.根據權利要求2所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，所述緩沖罐上設有壓力計。
6.根據權利要求5所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，所述壓力計與所述控制器連接。
7.根據權利要求1所述的層壓機用抽真空裝置，其特征在于，所述緩沖罐為不銹鋼材料件。
8.一種光伏組件用層壓機，其特征在于，包括權利要求1-7任一項所述的層壓機用抽真空裝置。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于晶澳（邢臺）太陽能有限公司;晶海洋半導體材料（東海）有限公司，未經晶澳（邢臺）太陽能有限公司;晶海洋半導體材料（東海）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201922475413.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種晶圓對位裝置
- 下一篇：支持2路6G視頻合成1路12G視頻信號的4K設備
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
