[實(shí)用新型]一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922471392.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN211013348U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡傳濤;章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;席濤濤;何磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01L11/00
• 分類號(hào): G01L11/00
• 代理公司: 蕪湖思誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34138
• 代理人: 項(xiàng)磊

本實(shí)用新型公開了一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)，包括閥島、負(fù)壓傳感器和廢氣處理設(shè)備，所述閥島包括氣路板和多個(gè)電磁閥，所述氣路板設(shè)有多個(gè)通道，所述電磁閥通過螺釘安裝在氣路板上，所述電磁閥的進(jìn)氣口與氣路板的通道的出口連接，所述氣路板的通道的入口連接有氣管，多個(gè)所述電磁閥共用一個(gè)出氣口，所述出氣口連接負(fù)壓傳感器。使用閥島，管路連接方便，僅需要一個(gè)負(fù)壓傳感器，就可以進(jìn)行多通道檢測(cè)，操作簡(jiǎn)單，方便維護(hù)，電磁閥上的手動(dòng)開關(guān)方便在閥島出現(xiàn)故障的時(shí)候進(jìn)行控制和檢測(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣多為有毒有害氣體，對(duì)人體和環(huán)境危害嚴(yán)重。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的日益繁榮，產(chǎn)能激增，半導(dǎo)體廠商由于企業(yè)內(nèi)部設(shè)施的限制對(duì)廢氣處理設(shè)備有更多各類需求，對(duì)處理效率有更高要求。在半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備中，負(fù)壓檢測(cè)是一項(xiàng)及其重要的參數(shù)，可以直觀的反應(yīng)了設(shè)備運(yùn)行狀況。半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備上一般裝有數(shù)量繁多的負(fù)壓檢測(cè)傳感器，浪費(fèi)了大量的盤內(nèi)空間，而且管路連接雜亂，不方便維護(hù)更換。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中負(fù)壓檢測(cè)裝置線路繁雜，占空間大的問題。

所述的一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)，包括閥島、負(fù)壓傳感器和廢氣處理設(shè)備，所述閥島包括氣路板和多個(gè)電磁閥，所述氣路板設(shè)有多個(gè)通道，所述電磁閥通過螺釘安裝在氣路板上，所述電磁閥的進(jìn)氣口與氣路板的通道的出口連接，所述氣路板的通道的入口連接有氣管，多個(gè)所述電磁閥共用一個(gè)出氣口，所述出氣口連接負(fù)壓傳感器。

優(yōu)選的，所述廢氣處理設(shè)備上設(shè)有多個(gè)偵測(cè)口，所述氣管連接到各個(gè)偵測(cè)口。

優(yōu)選的，所述閥島通過現(xiàn)場(chǎng)總線連接PLC，所述負(fù)壓傳感器與PLC電性連接。

優(yōu)選的，所述廢氣處理設(shè)備包括降溫系統(tǒng)，所述降溫系統(tǒng)與PLC連接。

優(yōu)選的，每個(gè)所述電磁閥上均設(shè)有手動(dòng)開關(guān)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：使用閥島，管路連接方便，僅需要一個(gè)負(fù)壓傳感器，就可以進(jìn)行多通道檢測(cè)，操作簡(jiǎn)單，方便維護(hù)，電磁閥上的手動(dòng)開關(guān)方便在閥島出現(xiàn)故障的時(shí)候進(jìn)行控制和檢測(cè)。

附圖說明

圖1、圖2為本實(shí)用新型中閥島不同角度的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型中氣路板的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，1-閥島，2-負(fù)壓傳感器，3-電磁閥，4-氣管，5-手動(dòng)開關(guān),6-氣路板。

具體實(shí)施方式

下面對(duì)照附圖，通過對(duì)實(shí)施例的描述，對(duì)本實(shí)用新型具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，以幫助本領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)用新型構(gòu)思，技術(shù)方案有更完整，準(zhǔn)確和深入的理解。

如圖1至圖3所示，一種傳感器復(fù)用的多通道負(fù)壓檢測(cè)系統(tǒng)，包括閥島1、負(fù)壓傳感器2和廢氣處理設(shè)備，所述閥島1包括氣路板6和多個(gè)電磁閥3，所述氣路板6設(shè)有多個(gè)通道，所述電磁閥3通過螺釘安裝在氣路板6上，所述電磁閥3的進(jìn)氣口與氣路板6的通道的出口連接，所述氣路板6的通道的入口連接有氣管4，多個(gè)所述電磁閥3共用一個(gè)出氣口，所述出氣口連接負(fù)壓傳感器2。

所述廢氣處理設(shè)備上設(shè)有多個(gè)偵測(cè)口，所述氣管4連接到各個(gè)偵測(cè)口

所述閥島1通過現(xiàn)場(chǎng)總線連接PLC，所述負(fù)壓傳感器2與PLC電性連接。

所述廢氣處理設(shè)備包括降溫系統(tǒng)，所述降溫系統(tǒng)與PLC連接。

每個(gè)所述電磁閥3上均設(shè)有手動(dòng)開關(guān)5。

本實(shí)用新型的工作原理及過程如下：