[實(shí)用新型]一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922467269.1
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211595842U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖永建;張福亮;周里華
• 申請（專利權(quán)）人: 惠磊光電科技(上海)有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 安曼

本實(shí)用新型公開了一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置，包括發(fā)熱筒體，所述發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置有隔熱層，且發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置有坩堝本體，所述隔熱層底部位于發(fā)熱筒體內(nèi)滑動(dòng)安裝有管道，所述管道呈螺旋形環(huán)結(jié)構(gòu)設(shè)置，且管道一端設(shè)置有冷氣機(jī)，所述冷氣機(jī)的出風(fēng)口和管道一端通過鋼絲軟管固定連接，所述管道表面固定安裝有四組滑塊，其中一組所述滑塊貫穿于發(fā)熱筒體內(nèi)壁且延伸至發(fā)熱筒體外部，所述滑塊位于發(fā)熱筒體外部一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件包括絲桿，且絲桿一端固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)固定安裝于發(fā)熱筒體外壁一側(cè)，所述光電開關(guān)和冷氣機(jī)電性連接，保證發(fā)熱筒體內(nèi)始終保持適合晶體快速生長的溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置。

背景技術(shù)

一般坩堝下降晶體生長爐的熱場示意圖如下，熔點(diǎn)溫度線一般控制在底部隔熱層中上部，坩堝可下降慢慢移動(dòng)完成晶體生長過程。生長早期由于坩堝基本處于底部隔熱層的上部，隔熱層下部空間由于遠(yuǎn)離發(fā)熱區(qū)，溫度較低，結(jié)晶區(qū)溫度梯度大，適合高效率生長質(zhì)量良好的晶體。

隨著坩堝的不斷下移進(jìn)入底部隔熱層下部空間，坩堝將發(fā)熱區(qū)的熱量大幅度帶入隔熱層下部空間，導(dǎo)致下部空間溫度升高，結(jié)晶區(qū)溫度梯度大幅度降低，導(dǎo)致生長界面漂移，適合的生長速度下降，極其不利于晶體生長。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置，在發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置螺旋形環(huán)結(jié)構(gòu)的管道，利用光電開關(guān)根據(jù)坩堝本體的移動(dòng)位置啟動(dòng)冷氣機(jī)向管道內(nèi)輸送冷氣，使發(fā)熱筒體內(nèi)始終保持適合晶體快速生長的溫度；在冷風(fēng)管道一側(cè)設(shè)置驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)灌輸冷氣的管道在發(fā)熱筒體內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使冷氣在坩堝下移過程中均勻受冷，更利于晶體的生長，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置，包括發(fā)熱筒體，所述發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置有隔熱層，且發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置有坩堝本體，所述隔熱層底部位于發(fā)熱筒體內(nèi)滑動(dòng)安裝有管道，所述管道呈螺旋形環(huán)結(jié)構(gòu)設(shè)置，且管道一端設(shè)置有冷氣機(jī)，所述冷氣機(jī)的出風(fēng)口和管道一端通過鋼絲軟管固定連接，所述管道表面固定安裝有四組滑塊，其中一組所述滑塊貫穿于發(fā)熱筒體內(nèi)壁且延伸至發(fā)熱筒體外部；

所述滑塊位于發(fā)熱筒體外部一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件包括絲桿，所述絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于滑塊內(nèi)，且絲桿一端固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)固定安裝于發(fā)熱筒體外壁一側(cè)；

所述隔熱層底部對稱安裝有光電開關(guān)，所述光電開關(guān)和冷氣機(jī)電性連接。

其中，所述坩堝本體底部設(shè)置有支撐柱。

其中，所述發(fā)熱筒體內(nèi)壁對稱設(shè)置有滑槽，所述滑塊和滑槽間隙配合。

其中，所述絲桿兩端均通過帶座軸承固定安裝于發(fā)熱筒體外壁一側(cè)，所述絲桿表面螺接有螺套，所述螺套和滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

其中，所述發(fā)熱筒體一側(cè)位于滑塊貫穿位置開設(shè)有槽口，所述槽口和滑塊之間均固定安裝有風(fēng)琴板。

其中，所述光電開關(guān)和隔熱層之間固定連接有定位板，所述光電開關(guān)和定位板螺紋連接。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型中，在發(fā)熱筒體內(nèi)設(shè)置螺旋形環(huán)結(jié)構(gòu)的管道，利用光電開關(guān)根據(jù)坩堝本體的移動(dòng)位置啟動(dòng)冷氣機(jī)向管道內(nèi)輸送冷氣，使發(fā)熱筒體內(nèi)始終保持適合晶體快速生長的溫度；

本實(shí)用新型中，在冷風(fēng)管道一側(cè)設(shè)置驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)灌輸冷氣的管道在發(fā)熱筒體內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使冷氣在坩堝下移過程中均勻受冷，更利于晶體的生長。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種提高晶體生長速度的風(fēng)冷管裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；