[實用新型]晶圓傳送盒清洗設備及系統

有效

• 申請號: 201922463948.1
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211858595U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 吳明芳;林伯龍;方子銘
• 申請（專利權）人: 佳宸科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;曾晨

1.一種晶圓傳送盒清洗設備，所述清洗設備(100)能應用于對晶圓傳送盒(10)進行清洗用，其特征在于：

所述清洗設備(100)，其至少包括有至少一前機臺(1)及一設于所述前機臺(1)后側端處的后機臺(2)；

所述前機臺(1)，其包含有一第一架體(11)、一設于所述第一架體(11)頂端前側處的第一水平位移機構(12)、一對應于所述第一水平位移機構(12)設置于所述第一架體(11)頂端后側處的翻轉機構(13)、一對應于所述翻轉機構(13)設置于第一架體(11)頂端后側處的吸取裝置(14)、一對應于所述吸取裝置(14)設置的第一垂直位移機構(15)、一設于所述第一架體(11)底端后側處的前清洗槽(16)、一設于所述第一架體(11)后側處的前清洗裝置(17)及一橫向跨設于所述第一水平位移機構(12)上的第一隔離壁裝置(18)；

所述第一水平位移機構(12)，其能帶動所述晶圓傳送盒(10)往所述翻轉機構(13)方向位移；

所述翻轉機構(13)，其能帶動所述晶圓傳送盒(10)的盒本體(10A)、翻轉至所述后機臺(2)處，并使所述盒本體(10A)的開口，由垂直轉為水平狀態；

所述吸取裝置(14)能對所述晶圓傳送盒(10)的門本體(10B)進行真空吸附定位，并使其拆下與所述盒本體(10A)分離；

所述第一垂直位移機構(15)，其能帶動所述吸取裝置(14)于對應所述晶圓傳送盒(10)、對應所述前清洗槽(16)兩狀態間作轉換，以一同帶動被拆下的所述門本體(10B)；

所述前清洗槽(16)，其內具有一容納空間(161)，所述容納空間(161)前方設有一與其連通的開口(162)，而所述開口(162)能供定位容納被所述吸取裝置(14)所轉移過來的所述門本體(10B)；

所述前清洗裝置(17)，其設于所述容納空間(161)內，具有一基座(171)、至少一設于所述基座(171)上的可動清洗單元(172)及兩分別設于所述基座(171)兩側端處的干燥單元(173)，所述可動清洗單元(172)能對所述門本體(10B)進行清洗，所述干燥單元(173)能對所述門本體(10B)進行干燥動作；

所述第一隔離壁裝置(18)，其能在所述第一水平位移機構(12)帶動所述晶圓傳送盒(10)往所述翻轉機構(13)方向位移時開啟，以供降低污染可能用；

所述后機臺(2)，其包含有一對應于所述第一架體(11)后側端設置的第二架體(21)、一設于所述第二架體(21)頂端的后清洗槽(22)、一設于所述后清洗槽(22)上方的后隔離裝置(23)及一頂端設于所述后清洗槽(22)內位于所述后清洗槽(22)底端的后清洗裝置(24)；

所述后清洗槽(22)，其能供容納由所述翻轉機構(13)所翻轉移動過來的所述盒本體(10A)用；

所述后隔離裝置(23)，其能供在所述翻轉機構(13)將所述盒本體(10A)翻轉移動過來后，將所述后清洗槽(22)封閉用；

所述后清洗裝置(24)，其能被所述翻轉機構(13)所翻轉移動過來的所述盒本體(10A)所覆蓋，并能供對所述盒本體(10A)內部進行清洗、干燥的動作用。