[實用新型]一種用于TKD表征測試的樣品夾具

有效

• 申請號: 201922462390.5
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN212540193U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 趙永好;劉思路;徐笑笑;郝肖杰;顧雷
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: G01N23/20025
• 分類號: G01N23/20025;G01N23/2204
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 張玲

本實用新型屬于微觀表征領域，具體涉及一種用于TKD表征測試的樣品夾具。包括壓塊和基臺，所述壓塊和基臺的橫截面均為直角梯形，壓塊和基臺的長底相接觸，壓塊和基臺的銳角端用于夾持；通過凹槽將壓塊分為夾持部和固定部，凹槽的深度壓塊的高度，夾持部分為多個，夾持部和固定部均通過緊固螺釘與基臺連接。本夾具通過物理固定的方法，將TKD薄試樣穩固地固定于夾具體的壓塊與基臺之間，避免因為導電膠的伸縮變形以及導電性能不理想使試樣移動和圖像漂移。

技術領域

本實用新型屬于微觀表征領域，具體涉及一種用于TKD表征測試的樣品夾具。

背景技術

傳統EBSD表征測試時，入射電子與塊狀樣品的作用范圍大，產生背散射電子的橫向區域寬度通常大于150nm，因此傳統EBSD空間分辨率差；而TKD表征測試時，入射電子穿透樣品，其橫向擴展區域通常小于100nm，從而獲得較高空間分辨率。

TKD使用SEM收集透射電鏡樣品中10nm下的亞表面的透射菊池花樣圖案，從而分析測量被表征樣品的晶粒尺寸、晶粒形貌、相分布和晶體點陣取向等微觀信息。相較傳統EBSD而言，TKD的空間分辨率被提升至納米尺度。多種材料的微觀結構表征結果表明TKD已能獲得2-10nm的分辨率。

目前所采用的測試方法將樣品夾持于樣品夾臺，再將樣品夾臺固定于一傾斜角為40°～80°的支架。由于導電膠的伸縮變形以及導電性能不理想，在實驗過程中會發生圖像的漂移，導致結果存在較大誤差。另外，一個夾臺上只能加持一個樣品，測試效率較低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于TKD表征測試的樣品夾具。

實現本實用新型目的的技術解決方案為：一種用于TKD表征測試的樣品夾具，包括壓塊和基臺，所述壓塊和基臺的橫截面均為直角梯形，壓塊和基臺的長底相接觸，壓塊和基臺的銳角端用于夾持；

通過凹槽將所述壓塊分為夾持部和固定部，所述凹槽的深度壓塊的高度，所述夾持部分為多個，所述夾持部和固定部均通過緊固螺釘與基臺連接。

進一步的，所述基臺的基臺后端面設有螺紋孔，通過螺紋孔實現與樣品臺的立柱連接，所述基臺后端面為直角梯形的直角邊所在的面。

進一步的，所述壓塊的夾持部的直角梯形的大底邊與斜邊之間的夾角，即壓塊夾角α為50°～80°。

進一步的，所述基臺的直角梯形的大底邊與斜邊之間的夾角，即基臺夾角β為50°～70°。

進一步的，所述壓塊的材質為不銹鋼、鋁合金或銅合金。

進一步的，所述夾持部為四個，多個夾持部之間通過通槽分割。

進一步的，所述壓臺上設有沉孔與緊固螺釘配合，所述基臺上設有螺紋孔為緊固螺釘配合；所述緊固螺釘為兩排，一排將壓臺的夾持部和基臺固定，另一排將壓臺的固定部和基臺固定；每一排的緊固螺釘的數量與夾持部的數量相同，每個夾持部配設一個緊固螺釘。

進一步的，所述凹槽的深度為3～8mm，寬為0.5～1mm。

進一步的，所述壓塊厚度為6-15mm，壓塊下底面的和長和寬與基臺的基臺配合面的長和寬相同。

進一步的，所述基臺配合面的長度為30～60mm，寬度為20～40mm。

本實用新型與現有技術相比，其顯著優點在于：

(1)本夾具通過物理固定的方法，將TKD薄試樣穩固地固定于夾具體的壓塊與基臺之間，避免因為導電膠的伸縮變形以及導電性能不理想使試樣移動和圖像漂移；

(2)壓塊的長度方向和寬度方向都與夾具的邊緣平行，利用壓塊及樣品夾具臺階邊緣固定試樣，可反復將同一試樣固定于同一位置，重復定位效果好；