[實用新型]一種高精度微動平臺

有效

• 申請號: 201922461746.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211491368U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 馬進;盧鵬俊;郭彥彪;張波;田景志
• 申請（專利權）人: 西安輕工業鐘表研究所有限公司
• 主分類號: B25H1/00
• 分類號: B25H1/00
• 代理公司: 西安億諾專利代理有限公司 61220
• 代理人: 康凱

1.一種高精度微動平臺，其特征在于，包括頂部的安裝平臺與底部的底座，安裝平臺與底座之間設有RY軸旋轉平臺、RZ軸旋轉平臺、Z軸升降平臺、Y軸平移平臺及X軸平移平臺，RY軸旋轉平臺與Z軸升降平臺相連，Z軸升降平臺通過RZ軸旋轉平臺與Y軸平移平臺相連，Y軸平移平臺與X軸平移平臺相連，所述RY軸旋轉平臺可實現繞Y軸旋轉角度，RZ軸旋轉平臺可實現繞Z軸旋轉角度，X軸平移平臺、Y軸平移平臺、Z軸升降平臺可分別實現分別沿X軸、Y軸、Z軸移動，通過多個平臺相配合從而實現安裝平臺的位移變化與角度變化。

2.根據權利要求1所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述RY軸旋轉平臺還包括RY軸楔形塊、固定塊、第一微調絲杠、第一鎖定螺釘、及第一復位彈簧，所述RY軸旋轉平臺上開設有旋轉調節縫，旋轉調節縫底部設有第一燕尾槽，第一燕尾槽底部設有第一導軌，其中，第一燕尾槽兩端均設有固定塊，其第一燕尾槽還與形狀匹配的RY軸楔形塊相連，第一微調絲杠與RY軸楔形塊相連時通過第一復位彈簧相連，第一鎖定螺釘與RY軸旋轉平臺一端相連。

3.根據權利要求2所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述Z軸升降平臺還包括Z軸楔形塊、第二鎖定螺釘、第二微調絲杠及第二復位彈簧，所述Z軸升降平臺上開設有第二燕尾槽，第二燕尾槽兩端還設有第一沉槽，其中，第二燕尾槽與第一導軌匹配相連，Z軸楔形塊穿過第一沉槽與第一導軌相配合，第二微調絲杠與Z軸楔形塊相連，所述第二復位彈簧設置在第二燕尾槽與第一導軌之間，第二鎖定螺釘與Z軸升降平臺一端相連。

4.根據權利要求3所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述RZ軸旋轉平臺安裝在Y軸平移平臺之中，還包括RZ軸楔形塊、第三鎖定螺釘、第三微調絲桿及第三復位彈簧，所述RZ軸旋轉平臺一端上設有圓柱銷，其圓柱銷與RZ軸楔形塊配合工作，另一端還與第三復位彈簧相連，其中，第三微調絲桿穿過Y軸平移平臺與RZ軸楔形塊相連，第三鎖定螺釘與RZ軸旋轉平臺一端相連。

5.根據權利要求4所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述Y軸平移平臺底部設有第二導軌，X軸平移平臺的中部開設有第三燕尾槽，第三燕尾槽兩端還設有第二沉槽，第二導軌與第二沉槽相適應，還包括Y軸楔形塊、第四鎖定螺釘、第四微調絲桿及第四復位彈簧，所述第二導軌之間還開設有第一調節縫，Y軸楔形塊設置在第三燕尾槽中，第四微調絲桿穿過第一調節縫和Y軸楔形塊相連設置，其中，第四復位彈簧安裝在第二導軌的一側，第四鎖定螺釘設置在Y軸平移平臺與X軸平移平臺之間。

6.根據權利要求5所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述X軸平移平臺底部設有第三導軌，底座的中部開設有第四燕尾槽，第三燕尾槽兩端還設有第三沉槽，第三導軌與第三沉槽相適應，還包括X軸楔形塊、第五鎖定螺釘、第五微調絲桿及第五復位彈簧，所述第三導軌上還開設有第二調節縫，第五微調絲桿穿過第二調節縫和X軸楔形塊相連設置，其中，第五復位彈簧安裝在第三導軌的一側，第五鎖定螺釘設置在底座與X軸平移平臺之間。

7.根據權利要求6所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述RY軸楔形塊、Z軸楔形塊、RZ軸楔形塊、Y軸楔形塊、X軸楔形塊上均設有消隙槽。

8.根據權利要求7所述一種高精度微動平臺，其特征在于，所述第一微調絲杠、第二微調絲杠、第三微調絲杠、第四微調絲杠、第五微調絲杠上均刻有分度盤。