[實用新型]用于真空鍍膜機中蒸鍍測量電極和保護電極的樣品夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922446965.4
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211478398U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊佳明;韓文彬;王暄
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱理工大學(xué)
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;C23C14/24
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 岳泉清

用于真空鍍膜機中蒸鍍測量電極和保護電極的樣品夾具，涉及一種樣品夾具。為了解決現(xiàn)有的絕緣材料進行電阻率測量時，采用的夾具需要進行二次蒸鍍，導(dǎo)致絕緣材料電阻率測量準(zhǔn)確度低的問題。夾具由夾具上板、夾具下板、軟磁體和電磁鐵構(gòu)成；夾具下板中心設(shè)置有圓形通孔，軟磁體為環(huán)形，軟磁體設(shè)置在夾具下板中的圓形通孔內(nèi)；夾具上板和夾具下板通過螺栓連接，夾具上板的上表面與軟磁體對應(yīng)的環(huán)形區(qū)域內(nèi)設(shè)置有兩個圓形盲孔，每個圓形盲孔內(nèi)設(shè)置有一個電磁鐵。本實用新型夾具僅需要一次蒸鍍便能完成測量電極和保護電極的蒸鍍，節(jié)省時間效率高，并且蒸鍍得到的測量電極和保護電極均勻一致、形狀規(guī)則。本實用新型適用于測量電極和保護電極的蒸鍍。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種樣品夾具。

背景技術(shù)

在對絕緣材料進行電阻率測量時，由于絕緣材料的電阻很大，因此需要向樣品施加高電壓，施加的高電壓除了在樣品體內(nèi)形成傳導(dǎo)電流外，還會沿樣品表面形成表面電流。因此，在采集流經(jīng)絕緣材料的電流信號時，必須將表面電流屏蔽掉，僅保留樣品體內(nèi)電流信號。為此測試絕緣材料電阻率時采用三電極結(jié)構(gòu)。三電極包括高壓電極、測量電極和保護電極，其中高壓電極在樣品的一側(cè)，測量電極和保護電極在另一側(cè)。測量電極為圓形結(jié)構(gòu)，保護電極為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，保護電極內(nèi)徑大于測量電極的外徑，測量電極和保護電極同心設(shè)置，保護電極包圍在測量電極周圍后，這樣表面電流就無法進入測量電極，保證了測量電極僅采集樣品體內(nèi)電流信號。

測量電極和保護電極在絕緣材料樣品表面的制備通過表面蒸鍍完成，采用的裝置為真空鍍膜機。測量電極和保護電極蒸鍍時采用的夾具如圖1和圖2所示，圖2中a1為上板，a2為下板，a3為片狀樣品，上板和下板在邊緣處通過螺栓連接實現(xiàn)對片狀絕緣材料樣品的夾持；圖1中，下板中心為圓形鏤空區(qū)，圓形鏤空區(qū)中設(shè)置有環(huán)形擋片b，環(huán)形擋片b 中心為圓形的測量電極形成區(qū)e，環(huán)形擋片b之外的圓環(huán)形鏤空區(qū)為保護電極形成區(qū)d，環(huán)形擋片b和下板之間通過兩個對稱的連接片c連接；進行蒸鍍時如圖1和圖2所示夾具存在的問題是：在電極蒸鍍時連接片c的阻擋下無法形成完整的保護電極，需要將樣品旋轉(zhuǎn)后進行二次蒸鍍，才能形成完整的環(huán)形的保護電極。二次蒸鍍需要重新構(gòu)建真空環(huán)境，浪費了大量的時間與資源，并且旋轉(zhuǎn)樣品時往往會因樣品偏離圓心，使最終鍍上的保護極和測量極形狀不規(guī)則，降低了測量的準(zhǔn)確度。

實用新型內(nèi)容

本實用新型為了解決現(xiàn)有的絕緣材料進行電阻率測量時，采用的夾具需要進行二次蒸鍍，進而導(dǎo)致絕緣材料電阻率測量準(zhǔn)確度低的問題，提出一種用于真空鍍膜機中蒸鍍測量電極和保護電極的樣品夾具。

本實用新型用于真空鍍膜機中蒸鍍測量電極和保護電極的樣品夾具由夾具上板、夾具下板、軟磁體和電磁鐵構(gòu)成；

所述夾具上板和夾具下板為矩形平板，夾具下板中心設(shè)置有圓形通孔，軟磁體為環(huán)形，軟磁體的外徑小于夾具下板中圓形通孔的內(nèi)徑，軟磁體設(shè)置在夾具下板中的圓形通孔內(nèi)、且軟磁體的中心與夾具下板的圓形通孔的中心重合；夾具上板和夾具下板通過四角處設(shè)置的螺栓連接，夾具上板的上表面與軟磁體對應(yīng)的環(huán)形區(qū)域內(nèi)設(shè)置有兩個圓形盲孔，每個圓形盲孔內(nèi)設(shè)置有一個電磁鐵。

本實用新型原理及有益效果為：

本實用新型樣品夾具使用時，將片狀的絕緣材料放置在夾具上板和夾具下板之間并用螺栓鎖緊，將兩個圓形盲孔內(nèi)的電磁鐵通入直流電源后，電磁鐵產(chǎn)生磁力，然后將軟磁體放置在夾具下板中心的圓形通孔內(nèi)，此時軟磁體被磁化且與電磁鐵相互吸引，軟磁體與絕緣材料表面緊貼。將組裝后的夾具置于真空鍍膜機中進行蒸鍍，蒸鍍后片狀的絕緣材料中未被夾具下板和軟磁體遮蓋的區(qū)域內(nèi)形成圓形的測量電極和圓環(huán)形的保護電極。最后將組裝后的夾具取出，斷開電磁鐵的電源，此時軟磁體退磁并且自動脫落，因此不會在拆卸過程中破壞形成的測量電極和保護電極。本實用新型夾具僅需要一次蒸鍍便能完成測量電極和保護電極的蒸鍍，節(jié)省時間效率高，并且蒸鍍得到的測量電極和保護電極均勻一致、形狀規(guī)則。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的測量電極和保護電極蒸鍍時采用的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；