[實用新型]一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201922441215.8 | 申請日: | 2019-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN211681356U | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發(fā)明(設計)人: | 吳建東 | 申請(專利權(quán))人: | 常州卓研精機科技有限公司 |
| 主分類號: | B24B13/00 | 分類號: | B24B13/00;B24B13/01;B24B41/04;B24B47/12 |
| 代理公司: | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美華 |
| 地址: | 213000 江蘇省常州市武*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 光學 元件 拋光 壓力 精密 控制 裝置 | ||
本實用新型提供了一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置,包括外殼體、內(nèi)缸體、柱塞套和柱塞;外殼體固定在機身上,內(nèi)缸體通過軸承轉(zhuǎn)動連接在外殼體內(nèi);柱塞套則過盈配合固定在內(nèi)缸體內(nèi),且柱塞套下端伸出內(nèi)缸體下端并貫穿機身,柱塞套頂部密封連接有將柱塞套頂部密封的內(nèi)缸蓋,柱塞套內(nèi)具有空腔,且該空腔氣路連接有供氣管路,柱塞配合滑動設置在柱塞套內(nèi),且柱塞下端伸出柱塞套底部,柱塞下端固定有拋光頭。本實用新型結(jié)構(gòu)設計合理簡單,在缸體中設計柱塞套,在不實用密封圈密封、消除密封圈摩擦力對拋光壓力影響的同時,有效簡化柱塞副結(jié)構(gòu),達到了降低制造成本和縮短制造周期的效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及光學元件拋光加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置。
背景技術(shù)
在光學元件拋光加工中通過調(diào)節(jié)氣體壓力實現(xiàn)拋光壓力的控制。在拋光壓力中包含氣體波動、活塞推動拋光盤移動產(chǎn)生的動摩擦力和靜摩擦力等壓力差,這些壓力差直接影響拋光去除率,也影響對去除量的預測。因此,拋光盤實際壓力控制影響拋光精度和光學元件收斂效率。
為例精確控制拋光壓力,通常采用柱塞副結(jié)構(gòu),利用柱塞和柱塞孔精密配合密封氣壓,不使用密封圈密封,消除密封圈摩擦力對拋光壓力的影響。但是由于柱塞副精度高,結(jié)構(gòu)復雜,加工制造成本高,制造周期長,影響了柱塞副拋光頭的廣泛應用。
實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題是:為了克服現(xiàn)有技術(shù)之不足,本實用新型提供一種結(jié)構(gòu)設計合理,在不實用密封圈密封、消除密封圈摩擦力對拋光壓力影響的同時,有效簡化柱塞副結(jié)構(gòu),降低制造成本、縮短制造周期的一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置。
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置,設置在光學元件拋光機內(nèi),所述的光學元件拋光機包括機身,所述機身內(nèi)設有由動力機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動的主動軸,所述的壓力精密控制裝置通過軸承轉(zhuǎn)動連接在機身上,所述的壓力精密控制裝置包括外殼體、內(nèi)缸體、柱塞套和柱塞;所述的外殼體固定在機身上,所述的內(nèi)缸體通過軸承轉(zhuǎn)動連接在外殼體內(nèi),且內(nèi)缸體軸向下端伸出外殼體下端并與機身連接,所述的內(nèi)缸體下端與機身通過機身軸承轉(zhuǎn)動連接;所述的柱塞套則過盈配合固定在內(nèi)缸體內(nèi),且柱塞套下端伸出內(nèi)缸體下端并貫穿機身,所述的柱塞套頂部密封連接有將柱塞套頂部密封的內(nèi)缸蓋,所述的柱塞套內(nèi)具有空腔,且該空腔氣路連接有供氣管路,所述的柱塞配合滑動設置在柱塞套內(nèi),且柱塞下端伸出柱塞套底部,所述的柱塞下端固定有拋光頭,所述的柱塞套外固定有傳動輪,所述傳動輪與主動軸傳動連接。
在上述方案中,巧妙地利用了柱塞套的設計,柱塞滑動連接在柱塞套內(nèi),柱塞套配合內(nèi)缸蓋可密封氣壓,受供氣管路的氣體壓力控制而發(fā)生移動,簡化了柱塞副的結(jié)構(gòu)。同時柱塞套配合固定在內(nèi)缸體內(nèi),當機身內(nèi)動力機構(gòu)驅(qū)動主動軸轉(zhuǎn)動時,傳動輪帶動柱塞套轉(zhuǎn)動,內(nèi)缸體隨之同步轉(zhuǎn)動,由于軸承的作用,外殼體不會干涉內(nèi)缸體的動作。
進一步的,所述的主動軸上固定有主動輪,所述傳動輪與主動輪通過傳動帶傳動連接。
進一步的,所述的內(nèi)缸體頂部通過上連接軸承與外殼體轉(zhuǎn)動連接、底部通過下連接軸承與外殼體轉(zhuǎn)動連接;所述的外殼體頂部壓接有上端蓋,所述的上連接軸承壓接在上端蓋與外殼體之間,所述的內(nèi)缸體頂部周向外凸出具有壓接環(huán),所述壓接環(huán)的下端面壓接在上軸承的上端面上;所述的外殼體底部內(nèi)部具有下連接軸承配合的軸向截面呈倒置的L型的凹槽,所述的內(nèi)缸體底部則向外凸出固定有支撐環(huán),所述下連接軸承配合壓接在凹槽與支撐環(huán)之間。
本實用新型的有益效果是,本實用新型提供的一種用于光學元件拋光的壓力精密控制裝置,結(jié)構(gòu)設計合理簡單,在缸體中設計柱塞套,在不實用密封圈密封、消除密封圈摩擦力對拋光壓力影響的同時,有效簡化柱塞副結(jié)構(gòu),達到了降低制造成本和縮短制造周期的效果。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
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